Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9272637 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper ist eine fortschrittliche bildgebende Ausrüstung, die eine überlegene Overlay-Leistung mit hoher Geschwindigkeit und niedriger Dosis bietet. Dieses System verwendet das neue NIKON E37A einzigartiges i-line Projektionsobjektiv, ist in der Lage, eine Reihe von Wafergrößen bis zu 200mm Wafergröße zu unterstützen und kann hohe Bildraten (bis zu 80.000 Bilder pro Sekunde) aufnehmen. Dieses Gerät verfügt über eine neue integrierte Hochleistungs-Advanced OMA (Optical Mode Assurance) Maschine für hohe Overlay-Genauigkeit und gleichmäßige Belichtung. Es ist mit einem Compact-Axis, zweistufigen Mechanismus für stiktionsfreie ultrahochauflösende Bildgebung und schnelle Fokussierung entworfen, so dass der Benutzer auf eine Vielzahl von Substratanwendungen für Hochdurchsatzprozesse zugreifen kann. Dieses Werkzeug verfügt außerdem über ein leistungsstarkes 14-Bit-TTL-Netzteil sowie ein automatisiertes PDL-Kompensationswerkzeug, mit dem die Ausrichtungsachse exakt angepasst wird, um den Bestpasswert der Maskenverschiebung zu reduzieren. Dieses einzigartige Tool bietet Flexibilität und Genauigkeit bei Datenzugriffs- und Analysefunktionen und minimiert gleichzeitig den Energieverbrauch. NIKON NSR-2205I11D ist auch mit einem erweiterten ActiveJob Processing™ Asset ausgestattet. Dieses integrierte Prozesssteuerungstool ermöglicht es dem Benutzer, alle Abbildungsoperationen über eine einzige Schnittstelle zu programmieren, zu optimieren und zu koordinieren. Dieses Modell integriert und teilt Jobdaten mit anderen Systemen und bietet hohe Zuverlässigkeit und Benutzerproduktivität. Das Equipment umfasst auch einzigartige Funktionen zur automatischen Steuerung, mit denen der Benutzer Waferunterstützungs-, Rotations- und Fokuseinstellungen konfigurieren und automatisierte Waferzentrierungsoperationen ausführen kann. Schließlich verfügt NSR 2205I11D auch über ein integriertes Wärmemanagementsystem, das die Temperatur des Geräts überwacht und Kühlkörper verwendet, um eine mögliche wärmebedingte Verknappung zu vermeiden.