Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9284006 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D ist ein zweistrahliger, zweistrahliger Feldschrittmacher für die Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen. Es ist in der Lage, kritische, aber hochgenaue geometrische Muster mit einer hohen Auflösung von 0,2 μ m zu erzeugen. NIKON NSR-2205I11D verfügt über eine multiaperture, interferometrische optische Ausrüstung mit einem kompakten High-NA-optischen System, um eine möglichst hohe Auflösung zu erreichen. Seine optische Einheit verwendet Spiegel, Linsen und einen gekrümmten Beleuchter, um die Energieform für eine optimierte Mustererkennung genau zu gestalten. Diese Maschine enthält auch zwei linescan Kameras, die eine Pixelgröße von 0,13 μ m und einen Satz von Low-Level-binären Verarbeitungsalgorithmen haben, um die Rechenzeit zu minimieren und die Auswirkungen auf die Produktionszykluszeiten des Geräts zu minimieren. Die Waferstufe von NSR 2205I11D wurde entwickelt, um die Anforderungen an hohe Genauigkeit, hohe Geschwindigkeit und geräuscharmen Betrieb zu erfüllen. Die lineare Stufe besteht aus einem Rahmen aus Aluminiumlegierung und ist so konzipiert, dass sie die beste Kombination aus Steifigkeit, Dämpfung, nichtlinearer Bewegung und Stabilität bietet. Ein eingebettetes magnetisches Motorwerkzeug versorgt die Bühne und verfügt über Besonderheiten wie Pulsweitenmodulation und Echtzeitautokompensation. Dieser magnetische Motor wird mit fortschrittlichen kinematischen Kupplungs- und Getriebemechanismen zur präzisen Strahlausrichtung kombiniert. Der Zweiwellenlängen-Abtastmechanismus von NIKON NSR-2205 I11D enthält sowohl ein breites Spektrum (UV bis Visible) als auch ein enges Spektrum (UV), das eine höhere Genauigkeit und effizientere Bedienung bietet. NSR 2205 i11D hat eine hohe Abtastgenauigkeit, die eine präzise Positionierung und Steuerung des Wafers in einer Halbleiterfertigungslinie ermöglicht. Zusätzlich ist der Stepper mit einem Hochgeschwindigkeitsverschluss ausgestattet, um zu verhindern, dass Wafermusteraberrationen durch eine verringerte Helligkeitsintensität verursacht werden. NSR-2205 I11D ist benutzerfreundlich und bietet eine einfache Wartung durch eine große Auswahl an Prozessparametern und Ethernet-Konnektivität. Im Vergleich zu herkömmlichen Steppern ist dieses Modell zuverlässiger, da es automatische Ausrichtungsmerkmale enthält und sowohl manuell als auch fernverwendet werden kann. Darüber hinaus ermöglicht das eingebaute Selbstdiagnosemodell eine Echtzeit-Beobachtung von Informationen wie Versorgungsspannung, Beleuchtungsintensität und Spektralzusammensetzung und benachrichtigt den Benutzer, wenn Fehler auftreten. Insgesamt 2205I NSR 11D hochauflösende Muster auf den Wafer, wobei kleinere Werkzeuge in kürzester Zeit mit seiner Dual-Field-Scan-Technik montiert werden. Seine hochauflösende Optik und fortschrittliche Steuerungsausrüstung sorgt für synchronisierten Betrieb und genaue Produktion, was es ideal für die Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen macht.