Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9359229 zu verkaufen
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ID: 9359229
Wafergröße: 2"-8"
Weinlese: 1995
Stepper, 2"-8"
Wafer stage: Chuck, 8"
Chuck type: Ring type
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Chamber: ASAHI N2A
Main computer:
Hard Disk Drive (HDD): DKA200, DKA300
Storage drive: DAT Drive (MKA 500)
Illumination type:
Shrinc type: 3
Revolver type: Conv, Ann, Small
Wafer loader, 8"
Loader type: 2 (A3)
OF Type: Flat
In line type: Right
Cassette: Left, right
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Lens data:
Lens controller
Lamp power (>650 mW / cm²): 619.047
Illumination uniformity (<2%): 0.75%
Stepping accuracy (<0.050 µm): 0.020/0.022
DIS (Within ±0.050 µm):
X (Min): 0.023um
X (Max): 0.039um
Y (Min): -0.036um
Y (Max): 0.037um
INC (<0.35 µm): 0.245 um (Max-Min)
AST (<0.25 µm): 0.002 um
UL-LR (Within ±0.2 µm): -0.001 um
UR-LR (Within ±0.2 µm): -0.051 um
1995 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein fortschrittlicher Tauchstepper mit einer überlegenen Bildqualität, hoher Produktivität und verbesserter Prozessstabilität. Mit einer Feldgröße von 5,0 x 5,0 mm ist es für den Einsatz in der Submikron-Geräteherstellung konzipiert. Diese eigenständige Ausrüstung integriert sowohl Stepper- als auch Immersionsscanner-Technologien, die eine optimale Prozesssteuerung ermöglichen. Das System ist mit einer Hochgeschwindigkeits-4K-Immersionsoptik ausgestattet, um eine überlegene Bildqualität zu erreichen. Es nutzt weltweit führende Laser-Muster-Generator, um Funktionsgröße und Kontrast zu optimieren. Die Einheit ist mit Wafer-dedizierten Datenverarbeitungsarchitektur gebaut, um eine schnelle Musterübertragung und kurze Scanzeiten zu ermöglichen. Es verfügt auch über eine spezielle Bildverarbeitungsmaschine, um eine Inspektion mit hohem Durchsatz zu ermöglichen. NIKON NSR-2205I11D ist auf hohe Produktivität und verbesserte Prozessstabilität ausgelegt. Es verfügt über eine integrierte Litho-Etch-Litho-Etch (LELE) -Fähigkeit, um gleichzeitig mehrere Photolithographie-Schichten zu ermöglichen. Es ist kompatibel mit einer breiten Palette von optischen Elementen, einschließlich hoher numerischer Apertur Tauchlinsen, ringförmige Beleuchtungslinsen und Off-Axis-Beleuchtungssysteme. Die Maschine verfügt auch über eingebaute Belichtungsfeldnähte und Belichtungsmusternahtfunktionen, um eine schnelle Wafer-Sondierung und schnelle Belichtungszeiten zu ermöglichen. NSR 2205I11D ist zudem mit einer schnellen Z-Antriebsoption ausgestattet, die die Belichtungszeit noch deutlicher reduziert. Es ist mit einem Joystick und 6 Achsen motorisierten Bühne für präzise Ausrichtung und Belichtung Steuerung ausgestattet. NSR-2205 I11D ist ein kostengünstiger und zuverlässiger Wafer-Stepper mit hoher Produktivität für die Sub-Mikron-Geräteherstellung. Es ist fortschrittliche Optik und Bildgebung ermöglichen eine überlegene Bildqualität und Prozessstabilität auch für die anspruchsvollsten Herstellungsprozesse. Außerdem machen seine Hochgeschwindigkeitsfabrikdatenverarbeitung und Machtaussetzungsfunktionen es ein hoch zuverlässiges und rentables Werkzeug für jede Oblatenherstellung.
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