Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9361850 zu verkaufen
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ID: 9361850
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1997
Stepper, 4"
Wafer type: Flat
Chamber type: Sendai S09
Altitude: Sea level
Lens type: 5IB5
Resolution: 0.35 Micron
Computer type: VAX 4000/90
Expansion unit:
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Data type
External Hard Disk Drive (HDD)
Reticle size: 6"
Illuminator type: 1750 W
Moveable NA: 0.50 to 0.63
LLTC
Reticle libraries
PPD
Bar code reader
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader type: Type 2
Wafer loader pre-alignment 2
Wafer loader in-line: Left
FIA
LSA
SRA
VRA
FC2
Chip leveling
Auto focus 5-points
Ceramic chuck type: 3-Pin rings
No movable microscopes
No shrinc
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D ist ein leistungsstarker automatisierter Wafer-Stepper für optimalen Durchsatz in der Halbleiterlithographie. Es wird von einer Reihe von erweiterten Ethernet und RS422 Schnittstellen für mehrere Computerplattformen und Fernzugriff unterstützt. Hochmobil, NIKON NSR-2205I11D ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, die hochauflösende Bildgebung, Hochgeschwindigkeitsnähte, Submikron-Registrierung, Overlay und kritische Dimension (CD) Steuerung eines einzelnen Substrats oder vollen Wafer erfordern. NSR 2205I11D's fortgeschrittene Mehrachsenbewegungskontrolltechnologie und hoch entwickeltes Stufendesign sichert genaue, repeatable Positionierung in allen Äxten der Bewegung, optimale Produktivität und Kostenleistungsfähigkeit ermöglichend. Der hohe Durchsatz und die große Fokustiefe machen es zu einer idealen Plattform für die Abbildung von kleinen und großen Substraten. Das mehrschichtige Design des Mikrolinsensystems NIKON NSS 2205 i11D ermöglicht eine optimale Auflösung bei hohen numerischen Öffnungen, was eine überlegene Auflösung und überlegene Feldgleichmäßigkeit ermöglicht. Die intuitive Benutzeroberfläche bietet komfortablen Zugriff auf alle Parameter, so dass Sie Aufträge einfach einrichten und ausführen können. NSR 2205 I11 D wird von einem integrierten Gigapler-Bildprozessor der Serie 6600 betrieben, der schnelle Bildmessungen, maximalen Durchsatz und überlegene Bildqualität bietet. Der Prozessor wird durch die NIKON OptiScanHigh-Technologie ergänzt, die eine unübertroffene Genauigkeit bei der Messung dichter Funktionen liefert. Für die industrielle Automatisierung unterstützt die Hochleistungs-NIKON NSR-2205 I 11 D moderne Kommunikationsprotokolle, einschließlich Ethernet und RS422, was sie zu einer zuverlässigen Plattform für die Implementierung eines breiten Anwendungsspektrums macht. Darüber hinaus kann das System SPS und PC gesteuert werden, mit Motoren und andockbaren Waferspannern als Optionen für kundenspezifische Fähigkeiten. NIKON NSR-2205 I11 D bietet eine Reihe fortschrittlicher Funktionen für einfache und effiziente Lithographie. Die intuitive Benutzeroberfläche und die robuste Leistung machen es zu einer zuverlässigen Wahl für alle lithographischen Anwendungen.
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