Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9364623 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i11D
ID: 9364623
Wafergröße: 2"-6"
Stepper, 2"-6".
NIKON NSR 2205 i11D ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Dieses Gerät verfügt über ein vollautomatisches Wafer-Handling-System sowie eine verbesserte optische Einheit für erhöhte Genauigkeit und Präzision während der Belichtung. NIKON NSR-2205I11D kann eine Vielzahl von Geräten und Prozessbedingungen problemlos bedienen, einschließlich größerer Geräte mit höheren Seitenverhältnissen. NSR 2205I11D verfügt über ein aktualisiertes optisches Maschinendesign für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Das Tool verfügt über eine hohe NA-Beleuchtung sowie Autofokus- und Autoalign-Funktionen, die eine feine Ausrichtung und eine extrem genaue Belichtung gewährleisten. Das Asset profitiert auch von einer erweiterten Fokustiefe und einer hochgenauen Fokus- und Verzerrungskorrektur, um Benutzern berechenbare Geräteergebnisse zu liefern. Darüber hinaus ist das Modell mit einer fortschrittlichen Overlay-Steuerung ausgestattet, um die Lithographie-Genauigkeit über eine Vielzahl von Layoutbedingungen aufrechtzuerhalten. Das System verfügt über eine vollautomatische Wafer-Handhabungseinheit, um den Durchsatz zu verbessern und Ausfallzeiten im Zusammenhang mit manueller Wafer-Handhabung zu reduzieren. NSR-2205 I11D verfügt über einen integrierten Roboterarm, der bis zu 40 Wafer gleichzeitig handhaben kann, wobei jeder Wafer mehrfach ausgesetzt wird, um den Durchsatz zu erhöhen. Darüber hinaus kann die MicroSpot-Technologie verwendet werden, um Waferlinsenaberrationen zu reduzieren. NIKON NSR 2205I 11D bietet eine Druckauflösung von bis zu 0,1 µm mit hoher Prozessbreite und einem breiten Belichtungsdynamikbereich für den hochauflösenden Druck fortschrittlicher Prozesse. Die Maschine verfügt zudem über ein ausgeklügeltes Prozesssteuerungswerkzeug, das die Belichtung und Überbelichtung ermöglicht. Das Asset ist mit einem Metrologiemodell auf Waferebene ausgestattet, das die Prozessintegrität gewährleistet und die Renditeoptimierung fördert. NIKON NSR-2205 I 11 D ist eine ideale Lösung für den hochgenauen Druck fortschrittlicher Lithographieanwendungen. Die Ausstattungsmerkmale gewährleisten eine optimale Belichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit sowie einen hohen Durchsatz. Das System ist auch auf Flexibilität und Skalierbarkeit ausgelegt, um maximale Leistung in einer Vielzahl von Prozessbedingungen zu gewährleisten. NIKON NSR 2205 I 11 D ist die perfekte Wahl für fortschrittliche Lithographieanwendungen.
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