Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9364624 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i11D
ID: 9364624
Wafergröße: 2"-6"
Weinlese: 2010
Steppers, 2"-6" 2010 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper ist ein Präzisions-Wafer-Stepper, der eine Reihe von Fähigkeiten für die Halbleiterindustrie bietet. Der Stepper hat eine 12 "automatische Scheibengröße von 200 mm bis 300 mm mit einer maximalen Scheibendicke von 0,3 mm und einer Überlappung von 0,25 mm. Das Gerät hat eine hochauflösende Vision mit einem motorisierten N2/O2 Generator in den Stapler integriert und verfügt über eine Luftlagerstufe. Das System hat auch die Fähigkeit, Multi-Design-Anwendungen zu verarbeiten und umfasst N2/O2 Schutz, Heizfunktion und Lasermarke auf den Wafern aufgebracht. NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper bietet mit seinen Dual-CCD-Kameras hervorragende Bildaufnahmepräzision und hochauflösende Bildgebungsfunktionen. Die proprietäre Bildaufnahmeeinheit verwendet zwei 2048 x 2048 Pixel CCD-Kameras für hervorragenden Kontrast, kolorimetrische Genauigkeit und Auflösung von 0,2 Mikrometern oder besser. Es ermöglicht auch eine Drehdrehung, so dass sowohl die Vorder- als auch die Rückseite des Wafers gleichzeitig abgebildet werden können. NSR 2205I11D Wafer Stepper kommt auch mit einer hochpräzisen Ausrichtmaschine. Das Tool verfügt über insgesamt 8 Registrierungen auf 5 optische Marker in einem Dual-Kamera-Asset und eine Genauigkeit von 0,11 Mikrometer vom 1mm-Registrierungspunkt. Das Modell hat auch ein einzigartiges optisches Design, um präzise Messungen über die verschiedenen Feldgrößen zu gewährleisten. NIKON NSR-2205 I 11 D Wafer Stepper verfügt auch über eine hochpräzise Belichtungsanlage. Dieses System verfügt über einen Hochleistungs-Verschluss-/Detektormechanismus und verfügt über innovative Beleuchtungstechnologie, um eine ausreichende Gleichmäßigkeit der Belichtungsbestrahlung und Gleichmäßigkeit der Schichtdicke zu gewährleisten. Dieses Gerät bietet auch eine lange Lebensdauer Verschluss, die maximale Bildgenauigkeit gewährleistet. NSR-2205 I 11 D Wafer Stepper enthält auch eine hochpräzise Projektionsmaschine. Dieses Werkzeug ist mit einem 5-Zonen-Beleuchtungsspiegel ausgestattet, der 5 verschiedene numerische Öffnungen von 0,6 bis 0,9 ermöglicht. Der Vermögenswert verfügt über 6-Achsen-Anpassung einschließlich Feinjustierung aller drei Achsen mit Submikron-Auflösung für präzise Fokussierung und Astigmatismus-Kompensation. Insgesamt ist NSR 2205I 11D Wafer Stepper ein hochpräzises Modell, das hervorragende Bildaufnahme-, Waferausrichtungs-, Belichtungs- und Projektionsmöglichkeiten bietet. Das Gerät eignet sich ideal für die Herstellung von Mikromustern auf ultradünnen Substraten und ermöglicht eine effiziente Produktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente und -komponenten.
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