Gebraucht NIKON NSR 2205 i11D #9383687 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i11D ist ein bekannter Waferstepper für Photolithographiezwecke. Es ist eines der modernsten Produktionswerkzeuge für Halbleitergießereien und Mikrofabrikationen. Das Gerät ist mit einem Dualkammer-Design und modernster Optik ausgestattet, die eine hohe Auflösung bis zu 1 µm garantieren. NIKON NSR-2205I11D ist mit einer fortschrittlichen automatischen Ausrichtungsfunktion ausgestattet, die eine hohe Präzision der Platzierung von Wafern ermöglicht. Es ermöglicht auch einen schnellen Waferaustausch und Minimierung von Overlay-Fehlern. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine Umgebungskompensationsfunktion, die die Lithographieleistung in einer sich verändernden Umgebung stabilisiert. Das Gerät ist mit einem In-Line-Weitbereichslaserinterferometer ausgestattet, das Vollfeldgenauigkeit bietet. Es enthält auch einen mikropixeladressierbaren Monitor, der Variationen bei der Strukturierung von Ergebnissen im Laufe der Zeit diagnostiziert und überwacht. Das Gerät ist auch in der Lage, mehrere Reticles zu betreiben und kann sowohl für ein- als auch zweischichtige Prozessläufe verwendet werden. Die LED des Gerätes ist mit einem Fokussierring ausgestattet und seine Beleuchtungsstärke auf 0,25 mW/cm2 zur homogenen Beleuchtung einstellbar. Dieser leichte Motor bietet überlegene Gleichmäßigkeit und kleine Feldgrößen von bis zu 5µm. Die Lichtquelle kann innerhalb von ± 0,6% der Zielenergie arbeiten, wodurch Musterfehler minimiert und das Risiko vertikaler Schritthöhenfehler eliminiert wird. NSR 2205I11D nutzt die neueste ESEDRF (Enhanced Spectrum Emission Diffraction Reduction Filter) Technologie, was zu einer verbesserten Bildqualität und einer größeren Fokustiefe führt. Das Gerät verwendet außerdem eine einzigartige Crossfield-Korrektursoftware, die bei der Neuausrichtung von übertragenen Mustern in derselben Richtung und in derselben Schärfentiefe hilft. Insgesamt ist NSR 2205 I11 D ein fortschrittlicher und leistungsstarker Wafer-Stepper, der sich ideal für die Produktion elektrischer und optoelektronischer integrierter Schaltungen eignet. Es ist die perfekte Wahl für die anspruchsvollsten Lithographie- und Mikrofabrikationsanforderungen.