Gebraucht NIKON NSR 2205 i12C #293603489 zu verkaufen
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ID: 293603489
i-Line stepper
Lens distortion: Standard measurement
Reticle blind setting accuracy
Focus calibration repeatability: 20 times measurement
Exposure power (N.A=0.57): Mercury lamp
Integrated exposure control accuracy (N.A=0.57): i-line IR-Radiance meter
Alignment accuracy FIA: FIA-EGA (Standard measurement)
Alignment accuracy LSA: LSA-EGA (Standard measurement)
Array orthogonality: Standard measurement
Stepping precision: Standard measurement
Wafer pre-alingnment repeatability: Single wafer, 20 times measurement
Illumination uniformity (N.A=0.57): 5 times measurement within the exposure area
Resolution, 0.4 µm:
L/S Conv NA: 0.57
CE V/H: 0.40
PR Film thickness: <1.0 µm
DOF: 0.45 µm:
5-Points V/H: 0.40 µm
PR Film thickness: <1.0 µm
CD Uniformity, 0.45 µm:
5-Points V/H: 0.40 µm
PR Film thickness: <1.0 µm
Coma, 0.45 µm:
5-Points V/H: 0.40 µm
PR Film thickness: <1.0 µm
Total Focus Deviation (TFD), 0.45 µm:
L/S Conv N.A: 0.57
Standard measurement
Astigmatism (AST):
Deviation L/S Conv
Standard measurement
Lens inclination, 0.50 µm:
L/S Conv N.A: 0.57
Standard measurement
Lens control accuracy (Initial):
Heating: 150 min
Cooling: 180 min
Operation test:
Wafer system
Reticle.
NIKON NSR 2205 i12C ist ein zwölfstufiger Wafer-Stepper zur präzisen und effizienten Herstellung von Halbleiterchips. Es ist mit einer eingebauten Laserausrichtung ausgestattet, die eine hochpräzise Chipherstellung mit minimaler Zeit- und Materialverschwendung ermöglicht. Der Stepper eignet sich besonders für die Herstellung von Chips, die eine hohe Genauigkeit erfordern, wie sie in optischen oder Pin-Grid-Array-Geräten verwendet werden. Das Gerät verfügt über ein energieeffizientes Design und eine hohe Durchsatzfähigkeit und ermöglicht so eine schnelle Herstellung hochwertiger Chips. Das Laserausrichtungssystem beschleunigt den Prozess weiter, wodurch die manuelle Einstellung der Waferausrichtung entfällt. Dies führt zu einer schnelleren Spanproduktion, wodurch zusätzliche Verarbeitungsschritte vermieden werden, um qualitativ hochwertige Endprodukte zu gewährleisten. Der Stepper verfügt über eine fortschrittliche leuchtende optische Einheit mit einer Auflösung von 0,25 Mikrometern, die die Herstellung von engen Linienmerkmalen und die Herstellung von Chips mit fortschrittlichen dreidimensionalen Merkmalen wie Stufenflächen ermöglicht. Die optische Maschine ist mit einem fortschrittlichen Hauptcomputer und Präzisionsmotorantrieben verbunden und gewährleistet eine hochpräzise Chipherstellung. Der Stepper ist außerdem mit einem fortschrittlichen Vernetzungsdesign ausgestattet, das auch bei der Verarbeitung verschiedener Resist-Rezepte eine beispiellose Genauigkeit bietet. Indem der Stepper verschiedene Rezepte gleichzeitig genau verarbeiten kann, wird die Produktionszeit minimiert. Insgesamt ist NIKON NSR-2205I12C eine ausgezeichnete Wahl für die Halbleiterproduktion. Es bietet extrem hohe Genauigkeit, auch im Umgang mit den anspruchsvollsten Anwendungen, und seine energieeffiziente Konstruktion führt zu einer schnellen Produktion von hochwertigen Chips. Dieser Stepper ist das perfekte Werkzeug für die Herstellung von High-End-Chips, was zu besseren Erträgen und geringeren Kosten führt.
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