Gebraucht NIKON NSR 2205 i12C #293817941 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i12C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i12C
ID: 293817941
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.57 Resolution: 450 nm DCO: 55 Throughput (WPH): 70.
NIKON NSR 2205 i12C ist ein Waferstepper, der speziell für Lithographieverfahren der nächsten Generation entwickelt wurde. Mit fortschrittlicher Optik und Präzisions-Waferbewegung wurde dieses Tool entwickelt, um eine hochauflösende Lithographie bei einer höheren Auflösung von 0,10 μ m zu ermöglichen. NIKON NSR-2205I12C bietet eine hohe Genauigkeit, die Muster auf dem Wafer mit sehr engen Linienbreiten und Abstand verbessert. Der Schritt-wird mit einer Hochleistungsdatenerfassungsausrüstung und einer schnellen Abtastgeschwindigkeit ausgestattet, die Verarbeitungszeiten drastisch reduzieren kann. NSR 2205 i12C kann für eine Vielzahl von Prozessen von der Rückbeleuchtungs-Lithographie bis zur fotoelektronischen Bildgebung eingesetzt werden. Der Stepper verwendet ein Integrated Circuit (IC) Lithographieverfahren, das die Ausbeute und Zuverlässigkeit von Geräten erhöht. Es umfasst ein I-Line-Beleuchtungssystem, das eine gleichmäßige Beleuchtung über den gesamten Wafer ermöglicht und eine gleichbleibende Belichtungsqualität unabhängig von der Wafergröße gewährleistet. NSR-2205I12C verfügt auch über ein spezialisiertes Optikmodul, das durch die genaue Schrittoptik ein gleichmäßiges Belichtungsfeld ohne Verzerrung bietet. Das ermöglicht ganzer Stief-Und-Mehrmaligmusternfähigkeit bis zu 0,10 μm. Darüber hinaus ist der Schrittschalter in der Lage, seine optische Basis, Geschwindigkeit und Beschleunigung automatisch einzustellen, um verschiedene Arten von Substraten aufzunehmen. Dies sorgt für überlegene Leistung auch beim Scannen von großflächigen Substraten. Darüber hinaus ist der NIKON NSR 2205 i12C Wafer Stepper mit einer hochpräzisen reibungsfreien Waferstufe ausgestattet, die den Wafer präzise auf der Basis positioniert, ohne den Wafer mechanisch zu beschädigen. Es verfügt auch über eine hochgenaue Wafer-Ausrichtung für eine optimale Wafer-Positionierung, Verbesserung der Prozessgenauigkeit und Gleichmäßigkeit über die Wafer-Struktur. Schließlich verwendet NIKON NSR-2205I12C eine vollautomatische Steuereinheit, mit der der Benutzer das Werkzeug einfach überwachen und steuern kann. Der Stepper enthält eine zuverlässige mechanische Maschine, die taktile Fehler beseitigt, die die Produktion erheblich beschleunigen und gleichzeitig die Erträge verbessern kann. NSR 2205 i12C ist zudem sehr zuverlässig und ideal für komplexe Anwendungen, bei denen die Maßhaltigkeit von größter Bedeutung ist.
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