Gebraucht NIKON NSR 2205 i12D #293601857 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293601857
i-Line stepper
Resolution: 0.35 µm
UDOF: ≥ 0.6 µm
CD Uniformity: ≤ 50 nm
Focus calibration repeatability: 3 Sigma ≤ 0.1 µm
Lens distortion: Within ±50 nm
Maximum area: 22 x 22 mm
Reticle blind setting accuracy: 0.4 to 0.8 mm
Exposure power: ≥ 600 mW / cm²
Integrated exposure control: Within ±1%
Illumination uniformity: Within 1%
Reticle rotation: Within 20 nm
Absolute value
Repeatability
Overlay accuracy:
ISA-EGA: 3 Sigma ≤ 65 nm
FIA-EGA: 3 Sigma ≤ 65 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 sec
Stepping precision: 3 Sigma ≤ 50 µm
Operational test: 99.5% Success rate
Wafer system: 100% Success rate
Reticle
Wafer pre alignment: 3 Sigma ≤ 15 µm
Focus stability: ≤ 0.6 µm
Magnification error: Within 15 nm
Stepping rate: 27 sec
Throughput:
ISA-EGA: 25 min 25 sec / less
FIA-EGA: 30 min 25 sec / less
INC: ±0.35 µm
Astigmatism total focus deviation 0.35 µm L and S: ≤ 0.3 µm
Field curvature: ≤ 0.3 µm
Chip leveling accuracy: Within ±1.5 sec.
NIKON NSR 2205 i12D Schrittausrüstung ist die neueste NIKON-Aufstellung von hochauflösenden Wafer-Steppern. Mit einem beispiellosen Leistungsniveau kombiniert das System einen hochauflösenden Durchsatz mit einer voll integrierten, hochpräzisen Schritteinheit. Dieser Stepper, der für fortschrittliche Lithographie-Prozesse entwickelt wurde, verfügt über ein beispielloses 12-Zoll-Scan-Seitenverhältnis (SAR), das es ermöglicht, Bildaufnahmemuster mit einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei bis zu 5 Mikron Auflösung zu erzeugen. NIKON NSR-2205I12D Schrittmaschine ist in der Lage, überlegene Bildgebungsgenauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatzgeschwindigkeit mit dem fortschrittlichen NIKON proprietären Objektivtechnologie-Paket zu bieten, das hochpräzise Objektive, fortschrittliche Optik und fortschrittliche Beleuchtungsdesigns enthält. Seine Verwendung von fortschrittlichen Verbundwerkstoffen bietet eine robuste, wiederholbare Scan- und Waferhaltefähigkeit, die in der Lage ist, Hochgeschwindigkeitsbelichtungen von bis zu 15.000 Belichtungen pro Stunde in verschiedenen Scangrößen zu bewältigen. Darüber hinaus wurde NSR-2205I 12D mit Blick auf den Benutzer entworfen, so dass es sowohl ein erweitertes und freundliches Werkzeug zu verwenden. Eine vereinfachte, benutzerfreundliche Benutzeroberfläche und eine verbesserte Bedienergonomie verbessern die Benutzerproduktivität und Benutzerfreundlichkeit. NSR 2205 I12 D wurde auch unter Berücksichtigung der Anforderungen von Hochleistungsprozessen entwickelt. Es verfügt über fortschrittliche bildgebende Kontrollsysteme und modernste Lithographie-Prozesskontrolltechnologien, die ein effizientes und kostengünstiges Management von bildgebenden Prozessen ermöglichen. NSR-2205I12D verfügt auch über eine fortschrittliche Wafer-Handling-Technologie, um sicherzustellen, dass Wafer mit rauen Oberflächen, wie Si-Wafer, ordnungsgemäß gehandhabt werden, um den Ertrag zu maximieren. Es kommt auch mit einer Reihe von hochpräzisen Messtechnik-Systeme, die totale Kontrolle über den Lithographie-Prozess. Schließlich ist NIKON NSR 2205 I12 D mit verschiedenen erweiterten Funktionalitäten ausgestattet, wie einer automatischen Ausrichtung und der Fähigkeit, eine breite Palette von Substraten und Materialien zu verarbeiten, was es zu einer guten Wahl für Top-End-Waferbearbeitungsanwendungen macht. Alles in allem ist NSR-2205 I12 D eine gute Wahl für diejenigen, die ihren lithographischen Prozessdurchsatz und ihre Genauigkeit maximieren möchten. Mit seinen erweiterten Funktionen und Funktionen ist es ein zuverlässiges, genaues und robustes Modell, das sicher ist, jeden Ihrer High-End-Scananforderungen zu erfüllen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor