Gebraucht NIKON NSR 2205 i12D #293606678 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i12D wafer stepper ist eine fortschrittliche lithographische Ausrüstung, die für höchste Leistung und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. Das System nutzt proprietäre i-Line- und DUV-Beleuchtungstechnologien, um Mittelfeldauflösung, hohen Durchsatz und extreme Genauigkeit für die fortschrittliche Waferherstellung zu liefern. Der Stepper bietet sowohl hochfeldauflösende als auch hochdynamische Bildgebung, um eine optimale Lithographieleistung über die gesamte Palette von Prozessschritten zu gewährleisten. Das Design der Beleuchtungseinheit verwendet sowohl einen IR-Laser als auch eine breitbandige Beleuchtung mit einem proprietären Detektordesign, um eine gleichmäßige Bildgebung über den gesamten Bereich des Belichtungslichtflusses zu ermöglichen. Das patentierte Design des Lasers und der spezielle optische Ansatz minimieren Wellenlängenfehler und Fokusfehler der DUV- und i-Line-Bildgebung. Das integrierte Design des Steppers ermöglicht einen vollautomatischen Wafer-Stufenprozess. Die CCD-Steuerungsarchitektur ermöglicht eine präzise Steuerung der Waferverschiebung durch die i-Line Vier-Quadranten-Projektionsmaschine, um einen hohen Durchsatz zu gewährleisten. Der Einsatz von zwei Controllern, einer integrierten EDB-Platine und integrierter Kompensationssoftware garantiert partikelarme Bedingungen und hohe Nachführgenauigkeit. Der Stepper ist mit einer Vielzahl von Wafermaterialien und Verarbeitungsrezepten kompatibel, durch ein vielseitiges Design, das verschiedene Musterfunktionen bietet. Die I-Line-Verarbeitung wird im Werkzeug durch ein hocheffizientes Objektivdesign mit Aberrationskorrektur und eine optimierte Lichtflusssteuerung ermöglicht, um die Genauigkeit der Kantenplatzierung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, hochdichte, Vollfeld-Lithographie-Prozesse und hohe Ausrichtungsgenauigkeit mit einem Autofokus-Algorithmus zu unterstützen. NIKON NSR-2205I12D Wafer Stepper enthält auch eine breite Palette von Sicherheitsfunktionen, einschließlich antistatische Technologie, Stickstoffeinspritzung und Interlocks für den sicheren Betrieb. Die eingebaute vorhersagende Fehlererkennung und Endstopp-Ausrüstung sichert den Schutz des Steppers und seiner Komponenten vor möglichen Schäden. Abschließend bietet NSR-2205I 12D Wafer Stepper eine fortschrittliche lithografische Leistung, hochdynamische Bildgebung und eine vielseitige Musterkompatibilität. Die integrierte Konstruktion bietet Hochdurchsatz, partikelarmen Betrieb und hohe Ausrichtungsgenauigkeit. Darüber hinaus bieten die Sicherheitsmerkmale, einschließlich Stickstoffeinspritzung und antistatischer Technologie, zusätzlichen Schutz für das System und seine Komponenten.