Gebraucht NIKON NSR 2205 i12D #9092552 zu verkaufen
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NIKON NSR 2205 i12D ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper mit einem hochpräzisen Mustersystem und überlegener Produktivität. NIKON NSR-2205I12D ist ein fortschrittlicher bildgebender Stepper, der eine „Top-Down“ - und „Across-Gate“ -Mustertechnik verwendet und somit ideal für eine Vielzahl von Anwendungen wie IC-Geräte und Leiterplatten geeignet ist. Mit mehreren Feldgrößen unterstützt dieser Stepper eine breite Palette von Substraten von ultradünnem Glas (UTG) und dünnem Glas (TG) bis hin zu Substraten mit geringer Beleuchtung. Seine variablen Spaltbreiten Erzeugungsfähigkeit bietet genaue Belichtung, zusammen mit hoher Genauigkeit Musterung in Linienbreiten und Tiefen bis zu 0,3 μ m. Der Wafer-Stepper ist mit einer Hochleistungs-Projektionsoptik bestehend aus zwei Linsen und acht Spiegeln ausgestattet. Das System ist für schnelle, reibungslose Bewegung und ausgezeichnete Platzierungsgenauigkeit ausgelegt. Es ermöglicht auch Dual-Field-Musterung, die weniger Zeit und weniger Operationen im Vergleich zu Einzelfeldtechniken erfordert. NSR-2205I 12D verfügt auch über fortschrittliche Steuerungssysteme mit Musterleistungsunterstützung und FOUP-Handhabung sowie einen Scanschritt mit hoher Geschwindigkeit von 45 nm, um den höchsten Durchsatz zu gewährleisten. Es ist auch mit Musterdatenvisualisierung ausgestattet, um Bewertungen der Substratgleichförmigkeit einfach und zuverlässig zu machen. Darüber hinaus bietet es eine umfassende Suite von Pre-Alignment, Alignment und Review-Funktionen. Weitere Merkmale von NIKON NSR-2205 I12 D sind eine 300mm-Stufe, ein Laderahmenspalt von 160mm, eine maximale Positioniergeschwindigkeit von 15.000 Stufen pro Sekunde und eine maximale Genauigkeit von ± 1 μ m. Der Wafer-Stepper ist auch mit Auto-Zentrierung ausgestattet, um sicherzustellen, dass Substrate immer genau positioniert werden für die Belichtung. NSR 2205 I 12 D ist für eine breite Palette von Produktionsanforderungen konzipiert und bietet erhöhte Produktivität, Effizienz und Genauigkeit für hochpräzise Musterung. Mit seiner hochbewerteten Doppelfeld-Musterfähigkeit ist dieser Stepper ideal für eine Reihe von Anwendungen von Mikroprozessoren über Festplattenlaufwerke, MEMS und LED-Herstellung.
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