Gebraucht NIKON NSR 2205 i12D #9238335 zu verkaufen
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ID: 9238335
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Steppers, 8"
Lamp power: About 500 mW
Uniformity: 3.6%
NA Variable system: 0.63 δ
Reticle size, 6"
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 x 22 mm
Reticle SMIF
Extender library: Left to right
Reticle case, 6"
Wafer type: Notch
Wafer chuck, 8"
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment 2: Notch, 8"
Pre alignment 2: Hammer, 6"
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line: Left
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: FIA (No wafer alignment assist microscope / LSA)
Rack type: Normal
Body-OP rack cable: 3m (Normal)
No wafer edge exposure
SHRINC: Type 1, 2, 3
No signal tower
No power meter / Test reticles (A,DIS,C,CD,MF)
No reticle cases
No remote controller
Chamber: ASAHI
Chamber temperature: 23.0°C
Hard disk drive (HDD)
Electric source with NEMA box 2-Lines for CVCF / UPS
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D ist ein Hochleistungs-Scan- und Belichtungsgerät, das auf die Anforderungen moderner Gerätehersteller zugeschnitten ist. Dieses neueste Modell der NSR-Serie wurde entwickelt, um eine hochpräzise Ausrichtung und eine genaue wiederholbare Belichtung zu ermöglichen. Mit einem neu entwickelten optischen System und einer integrierten ASML® -Motor- und Encoder-Schnittstelle bietet NIKON NSR-2205I12D eine hohe wiederholbare Leistung und einen beispiellosen Durchsatz. NSR-2205I 12D kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll belichten und hat eine numerische Apertur (NA) von 0,6, was eine verbesserte Auflösung und Schuss-zu-Schuss-Wiederholbarkeit von ± 0,5 µm ergibt. Für erhöhte Präzision und Zuverlässigkeit verwendet das Gerät eine beugungsbegrenzte numerische Linsenmaschine mit einer Stufenpupille, die Verzerrungen, optische Aberrationen und Linsenfackeln für maximale Gleichmäßigkeit eliminiert. Darüber hinaus führt sein fortschrittliches aktives Ausrichtwerkzeug bis zu 295.000 Ausrichtungspunkte mit 0,25 Mikrometer Genauigkeit durch und sorgt so für eine perfekte Geräteausrichtung. Die Anlage verwendet auch NIKON patentierte „Badewanne“ Steuermodell zur Steuerung verschiedener Elemente wie Linsentemperatur, Filmdicke und Mustergenauigkeit. Weitere Merkmale von NSR 2205 i12D umfassen Autofokus-Fähigkeit, automatische Kalibrierung und einen kontrastreichen Monitor, der ein verbessertes Sichtfenster während der Wafer-Inspektion und Ausrichtung bietet. Neben der hervorragenden Leistung ist NSR-2205I12D auch mit einer robusten Benutzeroberfläche ausgestattet, mit der Anwender problemlos aus einer Vielzahl von Belichtungs- und Ausrichtungsoptionen auswählen können. Es ist auch mit einer Reihe von häufigen Fehlern wie Partikelfehlern und Fokusvariation, die leicht kompensiert und mit der Ausrüstung angepasst werden können entworfen. All diese Funktionen machen NIKON NSR-2205I 12D zu einer idealen Wahl für Gerätehersteller, die Präzision und schnellen Durchsatz verlangen. Seine hervorragende Leistung und benutzerfreundliche Oberfläche machen diesen Wafer Stepper zu einem der besten auf dem Markt.
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