Gebraucht NIKON NSR 2205 i12D #9300305 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i12D Wafer Stepper ist ein führendes Lithographie-Werkzeug zur Herstellung von Schaltungen mit Abmessungen von bis zu 12 nm Gatelängen. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche Zwölf-Achsen-Stufe, um maximale Positionsgenauigkeit und Nano-Skala Wiederholbarkeit zu erreichen. Es hat eine maximale Stufenbewegungsgeschwindigkeit von 200 mm/s und eine Stufenpositionierungsgenauigkeit von 6 nm. Es ist mit einer einzigartigen linsenlosen Bildgebungstechnik ausgestattet, die eine Kombination aus einem 'hochauflösenden Stufeninterferometer' und einem Satz von 'interaktiven Laserdiodenprojektionen' für die Lithographie verwendet. Diese Kombination ermöglicht eine präzisere und präzisere Bildgebung bei feineren Funktionsgrößen und ermöglicht es, 60 Zeilen- und Raumauflösungsgenauigkeiten an einem 10-nm-Prozessknoten zu erzielen. NIKON NSR-2205I12D verwendet eine hochpräzise, Hochgeschwindigkeits-Scan-XY-Stufe, die eine unübertroffene Overlay-Genauigkeit innerhalb des gesamten Wafers gewährleistet. Ein integriertes Streuwerkzeug erkennt effektiv topographische Schwankungen auf der Waferoberfläche, wodurch leistungsstärkere Geräte erzeugt werden können, die eine sehr geringe Verzerrung und Defektivität erfordern. Das System verfügt über eine branchenführende 10-kW hochreflektierende Laserbestrahlungseinheit für eine schnellere und präzisere Bildgebung über den gesamten Wafer, wodurch maximale Produktivität und erstklassige Geräteleistungen erzielt werden können. Um den Durchsatz zu maximieren und eine branchenführende Gleichmäßigkeit zu erreichen, kann der Strahl in mehrere Strahlen unterteilt werden und gleichzeitig eine konstante Leistung über den gesamten Wafer erhalten. NSR-2205I 12D Wafer-Stepper verfügt auch über integrierte Ausrichtungsmarkierungen, um die Geräteleistung weiter zu verbessern und die Defektivität zu reduzieren sowie eine benutzerfreundliche Maschinenarchitektur mit fortschrittlicher Automatisierung. Eine intuitive grafische Suite von Steuerungssoftware unterstützt OPC-Modellierung sowie fortschrittliche Lithographie-Anwendungen. Um eine einfache Bedienung und zuverlässige Leistung zu gewährleisten, verfügt das Tool auch über eine breite Palette von Prozess- und Messtechnik-Sicherungswerkzeugen. Es hat auch mehrere Modelle mit verschiedenen Konfigurationen, so dass es für Wafer in verschiedenen Größen und Materialien geeignet ist. Zusätzlich zu diesen Funktionen bietet NSR-2205I12D Wafer Stepper eine Reihe von Serviceoptionen wie schnelle Installation, Schulung und Support. Dies ermöglicht eine beispiellose Leistung und Zuverlässigkeit und ist damit die ideale Wahl für Präzisionslithographieanwendungen für kleindimensionale Prozesse.