Gebraucht NIKON NSR 2205 i12D #9389868 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i12D
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i12D
ID: 9389868
Steppers.
NIKON NSR 2205 i12D ist ein Waferstepper für hochpräzise, hochauflösende Projektionslithographie. Das Gerät kann mit einer breiten Palette von austauschbaren Objektiven, optischen Komponenten und Belichtungseinstellungen konfiguriert werden, so dass es die Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen erfüllen kann. NIKON NSR-2205I12D verwendet eine hochpräzise, großformatige 12-Zoll (300 mm) maskenlose Step and Scan Stage. Diese Stufe ermöglicht eine überlegene Genauigkeit und Auflösung im Projektionslithographieverfahren. NSR-2205I 12D eignet sich für 4- bis 6-Zoll (100 bis 150 mm) -Wafer mit bildgebenden Sichtfeldern bis 36 mm x 36 mm, 12-Zoll (300mm) -Wafern mit bis zu 43mm x 43mm, je nach verwendetem Objektiv. Dieser Stepper verfügt über eine 0,75nm-Linienbreite und eine 12nm-Auflösung, die extrem präzise Funktionsgrößen ermöglicht. Das System ist mit einer kontrastreichen, mehrschichtigen interferometrischen Einheit ausgestattet, die eine qualitativ hochwertige Abbildung aller aufgebrachten Schichten ermöglicht. Die Maschine ist auch für schnelle Belichtungszeiten und eine geringe Partikelbelastung ausgelegt, dank eines modernen Luftfilterwerkzeugs mit einer chemisch unterstützten Abscheidung (CAD). Um die Wiederholbarkeit der Prozesse zu maximieren und Mikrofehler zu minimieren, umfasst NIKON NSR-2205 I 12 D eine Reihe von Ausrichtungssystemen. Der Stepper verwendet ein integriertes automatisches Ausrichtungsmodell, um Wafergeometrie und eine Kreis-auf-Kreis-Overlay-Ausrüstung schnell auszurichten, um eine kritische Ausrichtungsgenauigkeit zu gewährleisten. NIKON NSR-2205 I12D ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Waferstepper, der eine extrem präzise Lithographie erreichen kann. Das Gerät ist mit allen notwendigen Komponenten ausgestattet, um die Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen zu erfüllen, so dass es für große und kleine Produktion geeignet ist. NIKON NSR 2205 I12 D ist mit seiner hervorragenden Auflösung, hochpräziser Genauigkeit und einer Reihe von Ausrichtungswerkzeugen eine gute Wahl für die Wafer-Lithographie.
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