Gebraucht NIKON NSR 2205 i14E #9223212 zu verkaufen
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ID: 9223212
Wafergröße: 8"
i-Line stepper, 8"
Main system:
Main body
Operation rack
Control rack
Non-SMIF system
PC: DMCC
Display: LCD Monitor
Halogen lamp: SE-025720-N1
PCB Boards:
Interferometer VME unit
LC Unit
ALG Unit
OPD Unit
STG Unit
S/G Unit
RL Unit
WL Unit
LSA Laser head: 3225H-PCN
Interferometer laser head: 5517C
Reticle indexer: Indexer R150
IU Power: 439 mW/cm³
Uniformity: 4.67%
TTL-FC2: 19 nm
Focus: 51 nm
TFD: 188 nm
Distortion maximum (X/Y): 14 / 20 nm
Distortion minimum (X/Y): -25 / -26 nm
Wafer flatness: 0.8 um
Local flatness: 0.3 um
LSA Translation:
X: -8 nm
Y: 5 nm
LSA 3sigma:
X: 55 nm
Y: 58 nm
FIA Translation:
X: -10 nm
Y: 1 nm
FIA 3sigma:
X: 55 nm
Y: 56 nm
Shot magnification: 0.39 ppm
Shot rotation: -0.376 urad
CIM Linked.
NIKON NSR 2205 i14E ist ein hochpräziser Wafer-Stepper zur Herstellung von Photomasken. Photomasken werden bei der Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt und enthalten grafische Elemente, die eine präzise Positionierung und Ausrichtung benötigen. Dieser Stepper ist mit zwei unabhängigen optischen Objektiven und einer Digitalkamera ausgestattet, die eine hochpräzise Abbildung einzelner Waferfelder ermöglicht. NIKON NSR-2205I14E bietet 14 Zoll Wafer-Scanbereich. Seine dualen Lithographie-Optionen machen es in der Lage, abwechselnde Wellenlängen von 365 nm bis 248 nm zu handhaben. Die beiden importierten SEM LF ISI Asphären bieten eine einheitliche Auflösung und Fokustiefe. Die Hochgeschwindigkeits-Bilderfassung ermöglicht eine hochpräzise Abbildung des gesamten Waferfeldes und minimiert mit seinem neuen computergestützten Algorithmus Fehler bei der Musterausrichtung. Das integrierte Glas- und Schmutzentfernungssystem des Steppers verhindert Geräteverschlechterungen und Verschmutzungen. Dies gewährleistet eine genaue Gerätebildung und verhindert eine aufwendige Wafer-Wiederaufbereitung. Der Stepper enthält auch speziell entwickelte Funktionen, die den Höhenunterschied des Feldes um bis zu 1 µm reduzieren und eine gleichmäßige Fokussierung über das gesamte Schrittfeld gewährleisten. NSR 2205 i14E wurde entwickelt, um die Erträge zu maximieren und gleichzeitig die Kosten zu minimieren. Dank seiner flexiblen Korrektur- und Overlay-Funktionen können Teile einfach an entsprechende Bauteilsysteme angepasst werden. Es ist langlebiges und zuverlässiges Design, gepaart mit langfristigen Wartungsfunktionen, ermöglichen es diesem Stepper, ohne nennenswerten Service oder Wartung bis zu 444 Stunden zu arbeiten. Entworfen und gefertigt nach den neuesten Industriestandards bietet NSR-2205I14E unübertroffene Effizienz bei der Herstellung von Wafern. Dank der fortschrittlichen Bildverarbeitungsfunktionen, der schnellen Bilderfassung, der robusten Leistung und der Erschwinglichkeit ist es die ideale Wahl für jede Halbleiterproduktionsanlage.
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