Gebraucht NIKON NSR 2205 i14E2 #293610268 zu verkaufen
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NIKON NSR 2205 i14E2 ist ein fortgeschrittener 193 nm Immersiontyp Mikrosteindruckverfahrenausrüstung, die für die Ultrapräzision, Hodurchflussmikroherstellung entworfen ist. Es bietet eine maximale Auflösung von 14 nm, eine Bildfeldgröße von 450 mm mal 450 mm und eine erweiterte Schärfentiefe. Es verfügt über ein fortschrittliches Scanner- und Linsensystem, das einen möglichst hohen Durchsatz gewährleistet und hervorragende Bildgebungsergebnisse für die Ausrichtung von Retikeln und Masken sowie eine einfache, intuitive Steuerung liefert. Das Gerät ist mit einer i-line Coherent High Sensitivity Mode (CHSM) -Optik der neuen Generation ausgestattet, die eine extrem hohe optische Leistung bietet. Es verfügt über patentierte Wellenfrontadaption, Wellenfrontoptimierung und Polarisationsfunktionen sowie eine verbesserte vertikale Ausrichtmaschine für hochgenaue Overlay-Messung mit Wafern in der Nähe. Das Tool verfügt zudem über ein In-Line-Vakuum-Backmaterial nach Belichtung, das die Lebensdauer der Retikel verlängert und eine gleichbleibende, hochauflösende Bildqualität gewährleistet. Zusätzlich zu seinen bildgebenden Funktionen verfügt NIKON NSR-2205I14E2 über eine Vielzahl von Automatisierungsfunktionen, einschließlich automatischer Vollfeldausrichtung und integrierter automatischer Kalibrierung, deutlich verbesserter Patching-Strategien für Drucker und fortschrittlicher Anpassung der Kantenplatzierung. Es bietet auch die Möglichkeit, Wafer-Bilder an bis zu 16 Standorten gleichzeitig. Das Modell wurde entwickelt, um eine zuverlässige und wiederholbare Lithographie Ausrüstung zu sein, so dass es ideal für Hochleistungs-Mikrofabrikation. Schließlich ist NSR-2205 I14E2 kompatibel mit APC- und ITOx-Software, die leistungsstarke Lithographie-Prozesssteuerungs- und -verwaltungsfunktionen bietet. NSR 2205I 14E2 ist mit seinen schnellen Scangeschwindigkeiten, hervorragenden Bildergebnissen und vielen Automatisierungsfunktionen eine leistungsstarke und vielseitige Wahl für präzise Wafer-Stepper-Anwendungen.
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