Gebraucht NIKON NSR 2205 i14E2 #293799874 zu verkaufen

NIKON NSR 2205 i14E2
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i14E2
ID: 293799874
Stepper.
NIKON NSR 2205 i14E2 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet eine Auflösung von bis zu 0,07 μ m und einen ultrahohen Durchsatz von über 4.000 Wafern mit Vollfeldbelichtung bei 22 nm. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche bildgebende Technologie und seine proprietäre Inter-Field Exposure Method (IFEM). Dies ermöglicht eine verbesserte Ausrichtungsgenauigkeit zwischen den Feldern, was zu höheren Ausbeuten und höherer Produktsicherheit führt. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR-2205I14E2 über einen verbesserten FSE-Mechanismus (Field Search), der die Platzierung von Mustern im Wafer reduziert. Der leistungsstarke Wafer-Stepper enthält auch eine Kammer mit kontrollierter Atmosphäre (CAC), um eine stabile Umgebung zu schaffen, die bei der Verwendung empfindlicher Materialien hilft. Es verfügt außerdem über einen großen 13-Zoll-Wafer-Ladetisch und eine 16-Zoll-Adapterplatte für präzise und zuverlässige Waferbelastung. NSR-2205 I14E2 bietet auch fortschrittliche Funktionen zur Steuerung von Retikeln, was die Genauigkeit der Musterplatzierung erhöht. Es verfügt auch über ein automatisiertes und genaues Ausrichtungssystem, das die Belichtungsgenauigkeit verbessert. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine automatisierte Maskenoberflächeninspektionsmaschine, die lithographische Defekte verhindert. NSR-2205I14E2 enthält außerdem einen Frontend-Werkzeuganschluss und eine breite Palette von Komponenten, die eine Integration und Verbindung mit externen Systemen ermöglichen. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einem automatisierten Fehlerinspektionswerkzeug für erhöhte Prozessexzellenz ausgestattet. Um maximale Betriebszeit zu gewährleisten, verfügt NSR 2205 i14E2 über Software- und Hardwarediagnosen, Ferndiagnoseunterstützung und vorbeugende Wartungsfunktionen. Es ist auch mit einer automatischen Werkzeugzugriffssteuerung, einer ganzen Reihe von Bildprozessparametern und einer automatischen Belichtungssteuerung ausgestattet. Als Ergebnis bietet dieser fortschrittliche Wafer Stepper überlegene Leistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
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