Gebraucht NIKON NSR 2205 i8 #9248501 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2205 i8
ID: 9248501
Steppers.
NIKON NSR 2205 i8 Wafer Stepper ist eine Multifunktions-Lithographie-Ausrüstung, die speziell für 8-Zoll-Wafer entwickelt wurde. Das System ist vollautomatisiert und kann für eine Vielzahl von optischen Lithographieanwendungen eingesetzt werden. Es verfügt über ein hochmodernes 2 × Zoomobjektiv, zwei optische 6-Positionen-Einstellungen und eine neu entwickelte i-line-Quelle. NSR 2205 i8 Wafer Stepper ist in der Lage, Muster auf Siliziumscheiben mit einer Auflösung von 0,5 Mikrometern so klein wie 5 Mikrometer genau zu reproduzieren. Es verfügt über eine erweiterte Ausrichtungsgenauigkeit und reduzierte Glühzeit, die wesentlich sind, um Zykluszeiten zu minimieren und die Waferausbeute zu reduzieren. Es ist mit einer Maskenausrichteinheit und einem Bordaktor ausgestattet, der die Maske während der Lithographie genau in die Mitte des Wafers legen kann. NIKON NSR 2205 i8 ist mit einem Scankopf und einer voll integrierten Software ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, die Lithographie genau zu steuern und die wiederholbare Leistung zu erhalten. Die Maschine verwendet einen Zwei-Blitz-Belichtungsprozess, der sowohl mikroskopische als auch Mezzo-Merkmale in einer einzigen Belichtung abbilden kann. Es bietet auch Kompatibilität mit gängigen Lithographie-Design-Systemen wie Tape-to-Tape, CoreComplete und Maestro. NSR 2205 i8 hat zwei verschiedene Scan-Modi: linear und offline. Der lineare Modus stellt das Bild direkt auf den Wafer dar, während der Offline-Modus das Bild auf ein Zwischensubstrat wiedergibt, das dann auf den Wafer übertragen werden kann. Es verfügt auch über zwei verschiedene optische Einstellungen von 6X und 12X für höhere Auflösung Bildgebung. Das Tool bietet erweiterte messtechnische Funktionen, einschließlich integrierter Prüfstation, Spektralscannen und Autofokus. Darüber hinaus kann es mit optionalen Funktionen wie einem Alignment Verification Asset, einem automatischen Wafer Mapping und einer Alignment Checkclamp ausgestattet werden. Insgesamt ist NIKON NSR 2205 i8 Wafer Stepper ein intelligentes Multifunktions-Lithographiemodell, das speziell für 8-Zoll-Wafer entwickelt wurde. Es bietet hervorragende Ergebnisse in Bezug auf Mustergenauigkeit und Durchsatz, so dass es die ideale Wahl für High-End-Lithographie-Anwendungen.
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