Gebraucht NIKON NSR-2205EX12C #9137681 zu verkaufen

NIKON NSR-2205EX12C ist ein hochmoderner Wafer-Stepper. Der Stepper verfügt über ein ausgeklügeltes algorithmusgesteuertes Design, das eine präzise und wiederholbare Belichtung einzelner Wafer oder Substratplatten ermöglicht. Es bietet hohe Durchsatz- und Kosteneinsparungen für eine breite Palette von Photolithographie-Anforderungen. Der Kern von NSR-2205EX12C ist seine Belichtungsausrüstung der nächsten Generation, die ein modernes digitales Bildgebungssystem der DIGITALEN BELEUCHTUNGSTECHNOLOGIE (DIT) verwendet, das einen größeren Belichtungsbereich als herkömmliche Waferstepper bietet. Darüber hinaus verfügt die Einheit über eine eingebaute proprietäre Gleismaschine, die die Position jeder Wafer- und Substratplatte beim Durchlaufen des Werkzeugs verfolgt, die bei der wiederholten Belichtungsgenauigkeit hilft und Fehler in der Produktion erheblich reduziert. Die Anlage verfügt über ein hochpräzises CCD-Kamera-basiertes Ausrichtungsmodell, das während des Nachbelichtungsprozesses Genauigkeitsniveaus bis zu 1,5 Mikrometer gewährleisten kann. Die Kamera erfasst den Belichtungspunkt jeder Wafer- oder Substratplatte und verwendet die Ergebnisse, um Fehlstellungen, die während des Belichtungsprozesses auftreten könnten, genau zu kompensieren. Die Ausrüstung beinhaltet auch einen hochpräzisen SCHOTT-Plattenausrichter für die Vorbelichtungsgenauigkeit von 0,45 Mikrometern, der sicherstellt, dass jede Substratplatte vor der Belichtung genau zentriert wird. NIKON NSR-2205EX12C bietet auch verschiedene Systeme zur Minimierung und Steuerung der Dickenvariation, einschließlich eines Digital Edge Compensation (DEC) -Systems, das die Belichtung über die Kanten genau steuern kann, und einer Digital Resining (DR) -Einheit, die die Widerstandsdicke auf jede einzelne Substratplatte genau steuern kann. Darüber hinaus umfasst es eine hochentwickelte vertikale Entwicklungsmethode (VDF), die einen konsistenteren Entwicklungsprozess nach der Exposition von Backen zu Backen bietet. Schließlich beinhaltet NSR-2205EX12C eine fortschrittliche optische Linsenmaschine, die eine breite Palette von Fokus, Vergrößerung und numerische Blendenanpassungsoptionen bieten kann, mit einem maximalen NA von 0,85, was eine präzise Belichtung auch der kleinsten Merkmale ermöglicht. Insgesamt ist NIKON NSR-2205EX12C ein hochentwickelter Wafer-Stepper, der eine kostengünstige und durchsatzstarke Lösung für Photolithographie-Anwendungen bietet.