Gebraucht NIKON NSR 4425i #9225991 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 4425i
ID: 9225991
Weinlese: 1995
Stepper, 6" 1995 vintage.
NIKON NSR 4425i ist ein Wafer-Stepper der nächsten Generation zur Unterstützung überzeugender Lithographieanwendungen in der Nanotechnologie und der Halbleiterherstellung. Die präzise und präzise Ausrichtung von Maske auf Wafer hat eine komplexe, dreidimensionale Musterübertragung und eine höhere Zuverlässigkeit bei Photomasken ermöglicht, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es ist eine hochmoderne 4-Strahl-Ausrüstung, ideal für 0,15 Mikrometer Erzeugung bis 5xnm Prozesse. Mit NIKON NSR-4425I können Hersteller die Ausbeute ihres Prozesses verbessern und die Genauigkeit der bedruckbaren Merkmale auf den Substraten verbessern. NSR 4425 I ist ein Projektionsausrichter mit außergewöhnlicher Geschwindigkeit und Genauigkeit, der es ermöglicht, bis zu 200 Schritte pro Sekunde mit einer Auflösung unter 10 nm zu liefern. Es bietet einen Vorsprungsbereich an, der zur Oblatengröße bis zu 200 Mm, einer maximalen Schussgröße von 27 Mm und einer Schuss-zu-Schuss-Bedeckungsgenauigkeit 1.5nm Überseedampferfehler fähig ist. Der Stepper verfügt zudem über hochpräzise lineare Stufen, einen vibrationsgeschirmten Arbeitsarm und ein CMOS-basiertes Autofokussystem. Darüber hinaus kann NSR-4425I mit einer Hochgeschwindigkeits-Feinausrichteinheit für hohe Genauigkeit ausgestattet werden. Der Projektor der NSR 4425i verwendet eine Quadrilobe-Beleuchtungsmaschine mit 100-facher Konsistenz. Es ist auch mit einer Lichtquelle mit hoher Intensität ausgestattet, die ein außergewöhnlich großes Scanfeld erzeugt und es ermöglicht, große Substrate schneller und genauer zu bedrucken. Darüber hinaus ist NIKON NSR 4425 I in der Lage, das Maskenmuster für den Druck in einem orthogonalen oder gekrümmten Feld genau zu zerlegen. NIKON NSR 4425i ist benutzerfreundlich und bietet automatische Start- und Auto-Stop-Operationen, wiederholte Fokusverfolgung und eine integrierte Lithographiebibliothek mit Standardwerkzeugen und -einstellungen. Die eingebauten Einstellungen entzerren die Beleuchtungs- und Produktionsbedingungen, so dass der Bediener die Parameter entsprechend den Prozessanforderungen anpassen kann. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR-4425I über ein fortschrittliches Mess- und Fehlermesswerkzeug. Diese Ressource ermöglicht es dem Benutzer, die Ausrichtung genau zu überwachen und zu messen, Form und Dosis freizulegen, Fokus und Kantenplatzierung sowie Kontamination an jedem Schussort und dann mögliche Fehler zu melden. NSR 4425 I hat eine Vielzahl von programmierbaren Optionen und kann leicht in eine Produktionslinie integriert werden. Es verfügt über integrierte Netzwerkfunktionen, die die Fernüberwachung und Steuerung des Modells von einer Vielzahl von Workstations aus erleichtern. Die Maschine kann auch mit externen Prüf- und Messtechnik-Systemen verknüpft werden, so dass Anwender detaillierte Produktdaten zur weiteren Analyse und Prozesskontrolle sammeln können. Insgesamt ist NSR-4425I ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der es Herstellern ermöglicht, hochgenaue, hochpräzise Muster mit außergewöhnlicher Geschwindigkeit, Stabilität und Genauigkeit zu produzieren. Es ist eine zuverlässige und benutzerfreundliche Maschine, die für eine Vielzahl von Lithographieanwendungen geeignet ist.
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