Gebraucht NIKON NSR FX-601F #9255391 zu verkaufen
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ID: 9255391
Weinlese: 1998
Stepper
Gen 2 (370 mm x 470 mm)
Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels
Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S)
Projection magnification: 1: 1.25 x
Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm)
Reticle size, 6"
Holds: ~(50) Reticles
Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ)
Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²)
1998 vintage.
NIKON NSR FX-601F ist ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Das FX-601F bietet die neueste KE-Erkennung, Präzisionsausrichtung und Prozesssteuerung. Es verfügt über eine einzigartige Hybridantriebsausrüstung und kann Substrate bis zu 8-Zoll-Durchmesser handhaben und kann Großfeldbelichtung oder Kleinfeldbelichtung aufnehmen, während es auch fortschrittliche Mehrfeldnähte und Nähoptimierung bietet. Das Hybridantriebssystem des FX-601F nutzt eine Kombination aus Direktantrieb und Getriebeantrieb-Linearbewegung, die eine Hochgeschwindigkeitsübertragung großer Substrate mit hoher Zuverlässigkeit ermöglicht. Darüber hinaus verwendet die FX-601F auch eine Luftlagereinheit, die dazu beiträgt, die Gesamtdehnung und Wärmeausdehnung zu reduzieren, was zu einer konsistenteren Leistung in verschiedenen Umgebungen führt. Diese Merkmalserkennungstechnologie macht das FX-601F auch in der Lage, kleinere und komplexe Substrate zu handhaben. Das FX-601F verfügt über eine erweiterte Multifeld-Nähoperation. Dies ermöglicht hochauflösende Nähte mit der in die Maschine eingebauten Optimierungssoftware. Diese Optimierung minimiert die Anzahl der Felder, Tracks und Überlappungen, die erforderlich sind, um die erforderliche Genauigkeit zu erreichen, und bietet maximale Effizienz durch Minimierung der Benutzereingaben. Das FX-601F verfügt auch über ein einzigartiges und erweitertes KE-Erkennungswerkzeug. Der Vermögenswert ist in der Lage, Merkmale mit hoher Genauigkeit genau zu identifizieren und zu registrieren, was zu einer hohen Rendite auch für die komplexesten Muster führt. Die High-End-Optik des FX-601F sorgt für überlegene Bildqualität und hohe Genauigkeit. Das FX-601F beinhaltet auch ein Hochgeschwindigkeits-Auto-Fokus-Modell, sowie motorisierte Bühne für einfache Musterbewegung. Das FX-601F umfasst eine breite Palette von Standardwerkzeugen, um die Produktivität weiter zu steigern und die höchstmöglichen Leistungsanforderungen zuverlässig zu erfüllen. Das FX-601F wurde entwickelt, um Ausfallzeiten zu reduzieren, die Qualität zu verbessern und hohe Erträge aufgrund seiner fortschrittlichen Funktionen zu gewährleisten. NIKON NSR FX 601 F ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird. Mit Hybridantriebsausrüstung, Merkmalserkennung und Multifeldnähten ist das FX-601F ein zuverlässiges und leistungsstarkes Werkzeug für verschiedene Substrate. Die fortschrittliche Optik, das Autofokus-System und die motorisierte Stufe maximieren den Produktionsdurchsatz, ermöglichen präzise Probenbewegungen und sorgen für eine überlegene Bildqualität. Das FX-601F ist ein ideales Werkzeug für die Halbleiterherstellung, das eine optimale Leistung und Zuverlässigkeit bietet.
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