Gebraucht NIKON NSR G3A #293652738 zu verkaufen

NIKON NSR G3A ist ein hochpräziser Waferstepper der nächsten Generation, der extrem komplizierte Muster auf Halbleiterscheiben erzeugen kann. Dieser Wafer-Stepper ist mit einer fortschrittlichen optischen Ausrüstung ausgestattet und wurde entwickelt, um den höchsten Anforderungen der Serienproduktion gerecht zu werden. NSR- G3A ist in der Lage, Muster mit bis zu 248nm Auflösung zu erzeugen. NIKON NSR G3A kann bis zu 1400 Wafer pro Stunde belichten und ist in der Lage, Standard 6 bis 8 Zoll Wafer mit einem maximalen Durchmesser von 200mm zu akzeptieren. NSR G3A verfügt über ein Scansystem, das von zwei unabhängigen Galvano-Spiegeln mit jeweils 0,5 nm Auflösung betrieben wird. Jeder Galvano-Spiegel ist mit einer achromatischen Linse mit hoher Ausrichtung und einer einstellbaren Öffnung ausgestattet, um eine scharfe Abbildung der Muster zu ermöglichen. NIKON NSR G3A verfügt über eine einzigartige Bildkorrektureinheit, die das gespiegelte Bild automatisch anpasst, indem sie Verzerrungen kompensiert, die durch Schwankungen der Dielektrizitätskonstanten verursacht werden. NSR G3A verfügt über eine fortschrittliche Lithographie-Maschine, die in der Lage ist, Muster mit Linienbreiten bis zu 200nm zu produzieren. Der Wafer-Stepper ist in der Lage, Silizium-Wafer mit bis zu 4 Schichten aus Kupfer, Gold und Aluminium zu belichten. NIKON NSR G3A verfügt über eine hochpräzise Stufe für Bewegungen bis zu 0,5 µm (500 nm) mit einer maximalen Geschwindigkeit von 100 mm/sec. NSR G3A ist auch mit einer intuitiven und benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) ausgestattet, die es einfach macht, die Maschine zu programmieren und zu steuern. Das Menü ist intuitiv und einfach zu bedienen, mit einem einfach zu bedienenden Funktionsmenü, das die Anpassung von Musterdaten ermöglicht. NIKON NSR G3A verfügt über ein äußerst zuverlässiges Strahlüberwachungswerkzeug, das die Bewegungen des Strahls und die Belichtung ständig überwacht, um Fehler oder Beschädigungen zu verhindern. Um eine qualitativ hochwertige Produktion zu gewährleisten, ist NSR G3A mit einem umfassenden Diagnosegut ausgestattet, das seine Leistung ständig überwacht und Probleme in der Produktion erkennen kann. NIKON NSR G3A wird von einem sehr robusten Kühlmodell angetrieben, das die Temperatur reguliert und eine effiziente Kühlung der Maschine gewährleistet. NSR G3A verfügt auch über eine wählbare Luft/Spülung Ausrüstung, die saubere und staubfreie Belichtungen gewährleistet. Insgesamt ist NIKON NSR G3A ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der eine hochpräzise Lithographie ermöglicht und ideal für die Serienproduktion geeignet ist. Das einzigartige optische System, die Bildkorrektureinheit und die hochpräzise Stufe machen diesen Wafer-Stepper zur idealen Wahl für eine zuverlässige und präzise Halbleiterproduktion.