Gebraucht NIKON NSR G3A #9194239 zu verkaufen
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NIKON NSR G3A (ein Wafer-Stepper) ist eine hochentwickelte Lithographie-Ausrüstung, die für Forschungslabore und die Herstellung von Wafern entwickelt wurde. Es nutzt fortschrittliche Technologie, um Photomasken und Retikel automatisch auf Wafern auszurichten und zu belichten, die dann zur Herstellung integrierter Schaltungen (ICs) verwendet werden. NSR G3A verfügt über einen Stepper zur direkten Übertragung des Musters von einem Retikel auf eine Waferebene. Es verfügt über einen hochauflösenden optischen Laserkopf, der die Abtastgröße auf Submikronpegel reduzieren kann, sowie ein hochgenaues Hochgeschwindigkeitsstufensystem mit einem Stufenverfolgungssensor zur Maske-zu-Wafer-Ausrichtung und stabilen Empfang. Ferner ist die Einheit mit einer Bildreduziermaschine ausgestattet, die die reduzierte Vergrößerung des Musters einstellt. Das Werkzeug verwendet eine super hohe Geschwindigkeit ein Schritt Bewegung für genaue Ausrichtung und schnelle Belichtung. Darüber hinaus ermöglicht ein einfacher Standby-Befehl, das Asset jederzeit zu starten und innerhalb von zwei Minuten von seiner letzten Expositionsposition aus fortzufahren. NIKON NSR G3A verwendet auch ein KLA2D Bildverarbeitungsmodell zur vollautomatischen Ausrichtung und Patten-Analyse. Das Gerät erkennt automatisch die Waferkante und überlagernde Ausrichtungsmuster aus mehreren Belichtungssequenzen, um die genauen Belichtungsgrößen zu überprüfen. Das fortschrittliche Design von NSR G3A stellt sicher, dass sein Beleuchtungssystem mit geringer Kohärenz in der Lage ist, isolierte verwandte Strukturen mit einer Breite von 1 Mikron oder weniger zu strukturieren. Darüber hinaus ermöglicht die Prozesssteuerungssoftware dem Anwender Kalibrierungstests durchzuführen und Belichtungsprogramme zu erstellen und zu bearbeiten. Dieses Gerät ist auch mit einer motorisierten Masken-Nivellierstufe ausgestattet, die Astigmatismus schnell anpasst, ohne den Fokus zu ändern. Abschließend ist NIKON NSR G3A eine ideale Wahl für Forschungslabore und die Herstellung von Wafern. Der hochauflösende optische Laserkopf, die motorisierte Maskennivellierstufe und der einfache Standby-Befehl kombinieren eine effiziente Lithographiemaschine, die genaue und präzise Muster auf Wafern platzieren kann. Dadurch ist dieses Werkzeug eine ausgezeichnete Wahl für die Erstellung integrierter Schaltungen.
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