Gebraucht NIKON NSR i10 #293634217 zu verkaufen
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NIKON NSR i10 ist ein Top-of-the-Line-Wafer-Stepper, der für den Einsatz in den fortschrittlichsten Lithographieverfahren entwickelt wurde. NSR i10 bietet ausgezeichnete Leistung mit hohem Durchsatz und Auflösung bei außergewöhnlicher Overlay-Genauigkeit. Das Gerät ist mit einer hochzuverlässigen, berührungslosen, luftdichten Vakuumkammer gebaut, die es ideal für die Produktion oder Forschung und Entwicklung macht. NIKON NSR i10 wird von einem dreiachsigen Motorantrieb angetrieben, der eine hochpräzise Bewegungssteuerung in allen drei Achsen ermöglicht. Dual, 400kHz Verstärker ermöglichen schnelles, synchrones High-Speed-Scannen und schnelle Positionierung. Darüber hinaus umfasst der Stepper zahlreiche erweiterte Funktionen wie Echtzeit-Fokus-Überwachung und Autofokus-Optimierung, die konsistente Leistung und außergewöhnliche Overlay-Genauigkeit ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein Compact Interface System (CIS) Form, das eine automatisierte Konfiguration und einfache Einrichtung ermöglicht. Der Stepper ist mit einem Mikroskop zur Overlay-Auswertung ausgestattet und verfügt über eine integrierte Abbildungseinheit zur Anomalieerkennung. Das erweiterte Optik-Setup bietet eine minimale Luftbildauflösung von 0,25 Mikron. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Beleuchtungsmaschine den Einsatz einer Vielzahl von Beleuchtungsquellen und weist zur Minimierung von Beugungseffekten ein hochgleichmäßiges, mehrteiliges Dunkelfeldstreubild auf. NSR i10 beinhaltet auch ein schlankes erweitertes Ausrichtungsverfahren, das eine genaue Gitterausrichtung auch dann garantiert, wenn keine messtechnischen Ziele verfügbar sind. Die hochpräzise Bewegungssteuerung erstreckt sich auf alle Komponenten und ermöglicht eine präzise Ausrichtung von Retikel, Resist und Photomaske. Darüber hinaus verfügt der Stepper über umfangreiche Programmiermöglichkeiten mit komplexer Logikoperation und benutzerdefinierten Skripten, die die Integration in ein breiteres Tool ermöglichen. Die kompakte Größe und das geringe Gewicht machen NIKON NSR i10 zu einer perfekten Lösung für raumeingeschränkte Bereiche. Die Kombination aus einem luftdichten Gehäuse und leistungsstarken Steuerungen gibt NSR i10 die Möglichkeit, die extremsten Umgebungsbedingungen zu bewältigen. Die Kombination aus robuster Leistung, hoher Präzision und vielseitigen Eigenschaften machen diesen Wafer Stepper zu einer großen Wahl für die meisten Produktionsanwendungen.
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