Gebraucht NIKON NSR i7 #9226166 zu verkaufen

NIKON NSR i7 ist eine Hochleistungs-Lithographieanlage, die für photolithographische Anwendungen entwickelt wurde. Es ist ein Wafer Stepper in der Lage, extrem präzise Muster mit erweiterten Funktion und Overlay-Genauigkeit zu produzieren. NSR i7 verwendet fünf optische Module, die jeweils eine isolierte Lichtquelle, Linse und Präzisionsstufe enthalten, um dem System hervorragende hochauflösende Bildgebungsfunktionen für eine erfolgreiche Strukturierung von hochdichten Schaltkreisen zu bieten. Diese Einheit kombiniert auch viele Dünnschichtmustertechniken, um komplexe Designs und 3D-Features in einem einzigen Schritt zu erstellen. NIKON NSR i7 wurde entwickelt, um mit einer Vielzahl von Lithographietechniken wie positiver und negativer Bildgebung, Elektronenstrahllithographie, direktem Schreiben und tiefer UV-Belichtung zu arbeiten. Die Maschine verwendet ein fortschrittliches Scanner-Design, das in der Lage ist, hochgenaue Scribe-Linienprofile mit verbesserter CD-Linearität zu produzieren. Es bietet auch präzise Laserausrichtungsfunktionen, die in der Lage sind, Muster mit Präzision innerhalb von 0,1 μ m Genauigkeit schnell auszurichten. Dieses Tool ist in eine breite Palette von Arbeitseinheiten integriert, darunter ein Benutzerterminal, eine Belichtungsstation, eine Reinigungsstation, ein übergeordnetes Alignment-Asset und eine Bilddatenverarbeitungseinheit. NSR i7 ist mit fortschrittlichen Inspektions- und Messfunktionen ausgestattet, die eine schnelle und einfache Geräteoptimierung ermöglichen. Es verfügt auch über automatische Prozessfiltersteuerung, um verbesserte Geräteausbeuten bereitzustellen. NIKON NSR i7 wird von der ATHENA Software Suite angetrieben, die integrierte Tools zur Erkennung, Analyse und Visualisierung von Fehlern enthält. Dieses Softwarepaket soll Benutzern helfen, ihre gesamte integrierte Prozessleistung zu maximieren. Es verfügt auch über einen großen Bildschirm und ein Touchpanel für eine schnelle und einfache Modellbedienung und -programmierung. NSR i7 verfügt über ein erweiterbares 3-Stufen-Design, das benutzerfreundliche Schritte für das Be- und Entladen von Wafern sowie die Integration verschiedener Wafer-Handling-Systeme bietet. Die Waferstufe ist mit einer verstellbaren Vakuumausrüstung ausgelegt, um eine größere Palette von Wafergrößen zu unterstützen. Die Waferkassette lädt Wafer mit maximaler Genauigkeit und Geschwindigkeit in die richtige Position. Mit seinem extrem hohen Durchsatz bietet NIKON NSR i7 Kunden verbesserte Geräteerträge, Produktivität und Kosteneinsparungen. Die intuitive Benutzeroberfläche des Systems und die hochauflösenden Bildgebungsfunktionen stellen sicher, dass Produkte mit NSR i7-Einheit den höchsten Qualitätsstandards entsprechen.