Gebraucht NIKON NSR i8 #293757131 zu verkaufen
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NIKON NSR i8 ist eine Art Wafer-Stepper, ein bildgebendes Werkzeug, das hochpräzise Musteranwendungen zur Erstellung von Wafermasken ermöglicht. Es verfügt über ein modernes Wafer-Schrittgerät, das fortschrittliche optische und XYZ-Bewegungssteuerungstechnologien kombiniert, die es ermöglichen, Substrate von 8-Zoll bis 12-Zoll-Größen zu handhaben. Dieses System ermöglicht genaue hierarchische Schritt- und Wiederholvorgänge in Echtzeit, die den Durchsatz verbessern. Die NSR i8-Einheit verfügt auch über telezentrische Optik für optimierte Hinterseite-Bildgebungsfunktionen sowie über eine dynamische Z-Achsen-Vorschubfunktion, um eine vollständige Feldbelichtung zu ermöglichen. NIKON i8 behandelt sowohl positive als auch negative Wafer sowie Borosilikat- und Quarzglasscheiben und ist in der Lage, bis zu 8-Zoll-Substrate reinraumkompatibel zu verarbeiten. Der i8 verfügt außerdem über eine 200mm-Retikelstufe mit einem patentierten Fernstreifenaustauschmechanismus, der das Wechseln von Retikeln ohne manuelle Eingriffe ermöglicht, wodurch die Arbeitszeit reduziert und die Produktivität gesteigert wird. NIKON i8 verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, einschließlich der automatischen Kollimationsausrichtung, um die Ausrichtungszeit zu reduzieren und die Genauigkeit zu erhöhen, einen parallelen Autofokus-Mechanismus, um eine schnelle und genaue Fokussierung zu gewährleisten, und einen Anti-Bewegungsübertragungsmechanismus, um Übertragungsverluste durch Vibrationen und/oder Temperaturänderungen zu reduzieren. Dieser Wafer-Stepper bietet auch eine 8-Zoll Repeatability Up Tolerance (RUT) von +/-0,1 Mikrometer, was eine hochfeste Strukturierung und Wiederholbarkeit gewährleistet. Darüber hinaus bietet NIKON NSR i8 eine automatisierte Litho Process Analysis (LPA) Maschine an, um konsistente Abläufe mit vollständiger Prozessrückverfolgbarkeit und Rezepturverfolgung sicherzustellen. Eine optische Simulationssoftware (OSS) ist auch verfügbar, um Anwendern zu helfen, die Genauigkeit des i8 im Laufe der Zeit zu optimieren und beizubehalten. Zum i8 gehört auch ein hocheffizientes Kühlwerkzeug mit zweistufigem Kühlmechanismus und abgedichteten Filtertanks für den sauberen Betrieb. Insgesamt ist NSR i8 eine äußerst zuverlässige und effiziente Wafer-Stepper-Lösung, die den Anforderungen der fortschrittlichsten Photolithographie-Anwendungen gerecht wird. Die Kombination aus fortschrittlichen Funktionen, flexiblem Design und überlegenem Durchsatz machen es zu einer idealen Wahl für überlegene Ergebnisse bei niedrigsten Kosten.
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