Gebraucht NIKON NSR S204 #9243689 zu verkaufen

NIKON NSR S204
Hersteller
NIKON
Modell
NSR S204
ID: 9243689
KrF Stepper.
NIKON NSR S204 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper für die Halbleiterherstellung. Es nutzt NIKON proprietäre Array Micro-Scanning (AMS) Technologie, um genaue, hohe Durchsatz Wafer-Scan zu liefern. NSR S204 ist mit seiner hohen Auflösung, dem Hochgeschwindigkeitsbetrieb und einer umfassenden Automatisierungs- und Steuerungsausrüstung eine ideale Lösung für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse. NIKON NSR S204 ist in der Lage, die minimalen Linienbreiten auf Photomasken zu schrumpfen und hochpräzise Wafermuster zu erzeugen. Dies wird mit der integrierten, ausgefeilten Software zur Steuerung, Kalibrierung und Überwachung des Schreibvorgangs ermöglicht. Der Stepper verfügt über ein robustes, mehrachsiges Mikropositioniersystem, das durch einen Encoder stabilisiert wird, um Genauigkeit und schnelles Scannen zu gewährleisten. In einem industrietauglichen Rahmen enthalten, ist NSR S204 so konzipiert, dass es der rauen Fabrikumgebung standhält. NIKON NSR S204 erzeugt hochauflösende Bilder, indem es ein Array von bis zu 24 Millionen Pixeln pro einzelnen Wafer ohne Off-the-Chip-Verzögerung erstellt. Die multikaskadierten Spannungsschaltungen der Steuerkarte ermöglichen es, lineare und nichtlineare Spannungen in Echtzeit zu ändern, während die eingebaute Autofokuseinheit dafür sorgt, dass die Waferoberfläche perfekt ausgerichtet bleibt. Die Belichtungsmaschine von NSR S204 weist eine Laserdiodenanordnung auf, die auf Basis des gewünschten Wafermusters mehrfarbiges Licht emittiert. Mittels eines Computerprogramms stellt der Belichtungsregler auf jede Laserfarbe bestimmte Werte ein. Auf diese Weise können präzise Kontaktmuster zu unterschiedlichen Belichtungszeiten erstellt werden, was eine mehrschichtige Bildgebung und Strukturierung ermöglicht. Neben seiner hochpräzisen Optik ist NIKON NSR S204 mit Smartline ausgestattet, einem intelligenten Wafer-Handling-Tool. Smartline verwendet leistungsstarke Algorithmen, um jeden maskierten Wafer auf der Platte zu identifizieren und jeden während der Verarbeitung intelligent neu zu positionieren. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass Wafer unabhängig von Fehlausrichtung oder plötzlicher Bewegung durch Vibrationen konsequent freigelegt werden. Es hilft auch, Fehlerkennungsfehler zu reduzieren. Kurz gesagt, NSR S204 ist ein fortschrittlicher, hochpräziser Wafer-Stepper, der einen hohen Durchsatz, integrierte Prozesssteuerungen und eine effiziente Wafer-Handhabung bietet. Es ist die perfekte Wahl für Halbleiter-Chip-Hersteller und andere Forschungsanwendungen, die eine präzise Bildgebung erfordern.
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