Gebraucht NIKON NSR S204 #9247366 zu verkaufen
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NIKON NSR S204 ist ein hochentwickelter Wafer-Stepper für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Das Gerät verwendet eine leistungsstarke und präzise hochauflösende 5X-Projektionslinse sowie eine große Waferstufe, um das belichtete Muster genau auf einen Halbleiterwafer zu platzieren. Dieser Wafer-Stepper hat eine beeindruckende Feldgröße von 66 x 66mm und eine minimale Merkmalsgröße von 0,042 μ m, wodurch er die anspruchsvollsten Anforderungen an die Halbleiterherstellung erfüllen kann. NSR S204 ist ein vollautomatisches System, das die Produktivität steigern und Ausfallzeiten reduzieren soll. Es nutzt innovative Softwarelösungen für den kompletten Prozess, einschließlich Bildauswahl, Musterdatenoptimierung, Belichtungsscannung, Überwachung und MEMS (Micro- Electromechanical Unit) Verschlusskalibrierung. Es kann auch mit verschiedenen anderen Geräten wie einem Wafer-Aligner, Bilddatenanalysegerät und anderen Peripheriegeräten verbunden werden. Der Wafer-Stepper verwendet einen 2-Shot-Belichtungsmodus, der eine extrem präzise und genaue Fotografie von Mustern auf dem Wafer ermöglicht. Diese Technologie sorgt dafür, dass auch die komplexesten Muster genau und mit maximalen Details reproduziert werden können. Darüber hinaus verwendet NIKON NSR S204 proprietäre, patentierte Fehlerkorrekturalgorithmen, um die Auswirkungen von Stufenungenauigkeit, Umweltverzerrung und anderen Fehlerursachen zu minimieren. Das Werkzeug wird von einer Vielzahl von Sensoren und Kameras angetrieben, darunter ein Scan Position Detector (SPD) und ein Align Position Detector (APD) zur Ausrichtung der Bühnen- bzw. Waferbewegung. Darüber hinaus ist NSR S204 mit einer fortschrittlichen Ausstattung von Lichtquellen und Lampen für eine optimale Beleuchtung ausgestattet. Darüber hinaus ist das Modell mit spezieller Mehrschichtfiltration konzipiert, die sowohl Partikelverunreinigungen als auch Belichtungsgeräusche reduziert. Um maximale Benutzersicherheit und Komfort zu gewährleisten, ist NIKON NSR S204 mit robusten Sicherheitsmerkmalen wie einer Verriegelung für Bühnenbewegungen und Schlüsselbedienungen ausgestattet. Es verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche und unterstützt Remote-Betrieb für verbesserte Skalierbarkeit und Zugänglichkeit. Die Ausrüstung ist für maximale Haltbarkeit ausgelegt und kann rauen Umweltbedingungen standhalten. Abschließend ist NSR S204 eine hervorragende Wahl für hochpräzise Wafer-Stepper-Systeme.
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