Gebraucht NIKON NSR S204B #293598414 zu verkaufen

NIKON NSR S204B ist eine hochpräzise, schrittweise und wiederholte Belichtungsanlage, die sich ideal für die Halbleiter-IC-Fertigung eignet. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von IC-Verpackungsprozessen, einschließlich MEMS, TSV, 3D-IC und fortschrittliche Lithographieverfahren. Das S204B verfügt über ein modernes optisches System für hohen Durchsatz und ein Sichtfeld, das mehrere Wafergrößen aufnehmen kann. Es basiert auf einem vierseitigen Tischplattendesign mit vier Belichtungsstationen für bis zu vier 4-Zoll-Wafer auf einmal. Der Stepper hat eine branchenführende Auflösung von 4.0um und eine maximale Feldgröße von 33mm x 33mm. Es unterstützt flexible Retikelgrößen mit einer Retikelstufe, die bis zu 100mm Retikelmasken aufnehmen kann. Es kann auch Deep Ultraviolet (DUV) und Immersion Lithographie mit einer Reihe von kompatiblen Masken und Linsen unterstützen. Die Maschine verfügt über eine hochzuverlässige und Hochgeschwindigkeits-Servomotoreinheit mit maximal 150W Leistung. Es hat eine hochpräzise Ausrichtmaschine, mit einer Wiederholbarkeit von 0.25um und einer Genauigkeit von 0.4um. Die maximale Scangeschwindigkeit beträgt 15,2 Scans/Sekunde in X/Y-Richtung und die Achsenbeschleunigung beträgt bis zu 15,25 G. Zudem bietet die Maschine hervorragende Stabilität und Zuverlässigkeit für längere Belichtungszeiten. Es verfügt über einen integrierten Kühler, um sicherzustellen, dass die Maschine kühl bleibt und die Stabilität des Belichtungsbereichs optimiert. Der Kühler hilft auch, die Auswirkungen der Wärmeausdehnung zu reduzieren, und die S204B kann Temperaturen von bis zu 40 Grad Celsius standhalten. Das S204B ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, um eine hohe Produktivität zu gewährleisten. Die automatisierten Wafer-Be- und Entladesysteme reduzieren manuelle Arbeit und erhöhen den Durchsatz. Es verfügt auch über ein schnelles internes Fokuseinstellwerkzeug, das verwendet werden kann, um den Fokus des Netzes in wenigen Sekunden fein abzustimmen. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Ferndiagnose und eine anpassbare Benutzeroberfläche, mit der Benutzer die Maschine in Echtzeit warten und überwachen können, ohne dass ein Techniker erforderlich ist. Abschließend ist NIKON NSR-S204B ein leistungsfähiger und zuverlässiger Stepper, der hohen Durchsatz, Präzision und Flexibilität liefern kann. Die Maschine kann für eine breite Palette von Halbleiter-IC-Herstellungsprozessen verwendet werden, und seine ausgezeichnete Geschwindigkeit und Genauigkeit machen es ideal für fortschrittliche Lithographie-Prozesse.