Gebraucht NIKON NSR S204B #293606906 zu verkaufen

NIKON NSR S204B Wafer Stepper ist eine hochmoderne Halbleiterlithographie-Ausrüstung zur Strukturierung von Halbleiterbauelementen im Mikrometermaßstab. Das System verwendet eine einzelne Linseneinheit mit einer 4X Reduktionsoptik, um eine überaus präzise Ausrichtung und Strukturierung von Geräten zu ermöglichen. NIKON NSR-S204B Wafer Stepper Tool ist vollautomatisiert mit fortschrittlicher Software, die die automatische Einstellung von Belichtungsparametern, Ausrichtung und Ausrichtungsgenauigkeit ermöglicht. NSR S 204 B Asset besteht aus einer Basiseinheit, einer integrierten Schrittsteuereinheit, einer Lichtquelle und einer motorisierten Stufe mit X-, Y- und Z-Translation. Die Basiseinheit beherbergt das optische Mikroskop, die Schrittsteuereinheit, den Motor, die Motorentreiber und die Netzteile. Die integrierte Schrittsteuerung kommuniziert über das EtherCAT-Protokoll mit den Treibern, um die vertikalen und horizontalen Bewegungen der Bühne zu steuern. Die motorisierte Stufe wird von zwei Gleichstrommotoren angetrieben und beinhaltet einen vertikalen linearen Servomotor zur präzisen Z-Achsen-Steuerung. Der steuerbare Bereich der Bühne beträgt 100mm x 100mm in X- und Y-Richtung und 5mm in Z-Richtung. Die in NSR S204B verwendete Lichtquelle ist ein Helium-Cadmium-Laser. Dieser Laser emittiert Licht im ultravioletten Bereich des Spektrums und liefert eine Auflösung für den Sub-Mikron-Pegel. Die maximale Leistung des Lasers wird im UV-Bereich 15mW und seine Wellenlänge beträgt 355 nm. Das Modell ermöglicht es dem Benutzer, die Fokussierung des Laserstrahls durch Einstellung der relativen Position der Objektivlinse zu steuern. Der fokussierende Bereich der Ausrüstung ist an Beugungsgrenzen gehalten, was eine präzise Strukturierung von Merkmalen auf Submikron-Ebene ermöglicht. Das Hauptmerkmal der NIKON NSR-S 204 B ist die Handhabung von Wafern. Das System ist mit einem Wafer-Spinnfutter ausgestattet und ermöglicht die direkte Handhabung von 6-Zoll-Wafern. Die Einheit umfasst auch Waferspanner und Klemmen, die eine genaue Ausrichtung des Wafers relativ zum Lichtstrahl ermöglichen, was die Gesamtausrichtungsgenauigkeit weiter erhöht. Neben der präzisen Strukturierung und dem hervorragenden Wafer-Handling bietet NSR-S204B exzellente Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit. Die Maschine ist für lange Produktionszyklen und minimale Ausfallzeiten ausgelegt. Das Werkzeug kann in einem automatisierten oder manuellen Modus betrieben werden und beinhaltet auch ein Vakuum-Asset zum Auswerfen von Wafern und ein falsch ausgerichtetes Wafer-Handling. Die integrierte Software des Modells ermöglicht eine einfache Datenhandhabung, Programmierung und Parameteranpassung. Das Gerät umfasst auch einen Netzwerkadapter-Port und eine Visual Basic Scripting-Sprache, die die Programmierung des Systems ermöglicht und über die Benutzerskripte erstellt werden können. Abschließend bietet NIKON NSR S 204 B eine hervorragende Kombination aus exakt strukturierten Funktionen, automatisierten Wafer-Handling-Funktionen und Zuverlässigkeit. Dieses Gerät ist ein ideales Werkzeug für die Herstellung und Forschung von Halbleiterbauelementen.