Gebraucht NIKON NSR S204B #293628991 zu verkaufen

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Hersteller
NIKON
Modell
NSR S204B
ID: 293628991
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
DUV Scanner, 8" CIM: SECS, GEM Handler: Type 3 Factory interface: Open cassette CYMER Laser: Distortion: 0.015 µm IU Flare: 1.80% Lens flare: 9.0% Uniformity: 5.3% Total focus deviation: 0.202 µm Astigmatism: 0.081 µm Coma: 0.062 µm ISO DOF: >35nm µm of CD Range Power supply: 779 mW 2000 vintage.
NIKON NSR S204B ist ein Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um hochpräzise Teile der nächsten Generation aus Kristallen und anderen Materialien zu erstellen. NIKON NSR-S204B verfügt über NIKON Advanced Split Field Stereo Lithography (ASFS) Technologie, die die Geschwindigkeit und Genauigkeit der photolithographischen Belichtung verbessert. NSR S 204 B enthält eine verbesserte Strahlquelle, einen optischen Pfad, eine Projektionsoptik und einen neuen Motorantrieb. Diese Kombination gewährleistet eine sehr stabile Belichtungsumgebung mit ausgezeichneter Overlay-Genauigkeit und extrem geringer Ungleichmäßigkeit. NSR S204B wurde entwickelt, um mit geschnittenen Kristallen zu arbeiten, die so dünn wie 0,04 mm (1,6 mils) sind. Das Gerät hat eine OptiLand-Spotgröße von bis zu 58 µm und eine Wiederholbarkeit von bis zu 3 µm. Die NIKON ASFS-Technologie trennt die strukturierten Sichtfelder, die eine überlegene Belichtungsgleichmäßigkeit über das gesamte Belichtungsfeld bieten. Das Belichtungsfeld ist gleichmäßig geformt, was die mechanische Stabilität erhöht und Verzerrungen durch ungleiche Brennweiten eliminiert. NSR-S 204 B hat eine verbesserte Belichtungsgeschwindigkeit und Wiederholbarkeit. Die Maschine verfügt außerdem über einen fortschrittlichen Fernbedienungsmonitor und eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI). NIKON NSR S 204 B beinhaltet Werkzeuge zum Mustern, Schrittaufbau und Messen. Neben NSR-S204B erhalten Kunden eine umfassende Palette von Software-Tools. Diese Werkzeuge ermöglichen eine effiziente Belichtung sowohl in High-End- als auch in Low-End-Anwendungen. NIKON NSR-S 204 B verfügt über ein fortschrittliches Luftbildauswertungssystem, das eine genaue Ausrichtung ermöglicht. Die fortschrittliche Bildabstufung und Auflösungsanpassungstechniken sorgen für eine überlegene Bildqualität. NIKON NSR S204B verfügt auch über ein integriertes Laser Goniometer/Reticule, das eine hohe Geschwindigkeit, Dual-Achsen-Ausrichtung und Ausrichtung nichtlinearer strukturierter Strukturen ermöglicht. NIKON NSR-S204B ist mit einer fortschrittlichen Prozesssteuerung ausgestattet. Diese Maschine ermöglicht eine einfache Bedienereinstellung der Belichtungseinstellungen und Schrittparameter. Das Tool beinhaltet auch eine Echtzeit-Datenanzeige und -Sammlung zur Überwachung, Speicherung und Analyse von Stepper-Betriebsergebnissen. NSR S 204 B hat eine kompakte Größe und ist so konzipiert, dass es in bestehende Fertigungsumgebungen passt. Die Maschine ist UL und CE zertifiziert, und es ist entworfen, um die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Die Maschine ist auch für den Umgang mit mehreren Lieferungen von Chemikalien und Photoresists konzipiert, wodurch zusätzliche Schritte zwischen den Prozessen eliminiert werden. All diese Eigenschaften machen diese Maschine ideal für Massenproduktionsanwendungen.
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