Gebraucht NIKON NSR S204B #293678915 zu verkaufen
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ID: 293678915
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
KrF Scanner, 8"
Hard Disk Drive (HDD)
2000 vintage.
NIKON NSR S204B ist ein Waferstepper, der für die Präzisionslithographie in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist Teil der NIKON NSR-Serie und eines der zuverlässigsten und fortschrittlichsten verfügbaren Systeme. Das S204B nutzt eine Benutzeroberfläche für die einfache Bedienung und umfasst eine Reihe von Hochleistungsoptiken, automatisierten Steuerungs- und Bewegungssteuerungssystemen. Das Objektiv für die S204B ist NIKON AIMEX VXR270, eine hochauflösende Objektivlinse mit großer Apertur. Es hat eine NA von 0,35 und eine Vollfeldvergrößerung von 3x. Das erlaubt ihm, Präzisionssteindruckverfahrenbeschlüsse des Mikrons/Submikron sowie hohen Durchfluss zu erreichen. Die Linse verwendet auch eine linearmotorische Antriebseinrichtung für einen reibungslosen, schwingungsfreien Betrieb. Das S204B verfügt auch über NIKON proprietäre MMC-5000E Steuerungsplattform, die eine automatisierte und präzise Steuerung des Systems ermöglicht. Diese Steuerplattform unterstützt eine breite Palette von Steuerungsfunktionen, einschließlich Belichtungszeit, Auflösung, Prozessparameter, Retikelbewegung und Ausrichtung und Waferstufengenauigkeit. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die die Bedienung einfach und effizient macht. Neben der fortschrittlichen Optik und Steuerung ist NIKON NSR-S204B mit einer Reihe von Wafer-Handhabungsfunktionen ausgestattet. Es ist mit einem elektromagnetischen Spannfutter zum Tragen von Wafern bis 200 mm Durchmesser sowie einem Kassettenlader zum automatischen Be-/Entladen von Waferkassetten ausgestattet. Diese vielseitige Einheit umfasst auch eine Auswahl an Zubehör für Vor- und Nachbearbeitungsvorgänge. Dazu gehören ein automatischer Wafer-Mapper zur Überprüfung der Wafer-Verzerrung (WRA), ein Up-Down-Bewegungstabelle zur Abbildung und Registrierung und ein Stepper-Steuertisch zur Laserausrichtungssteuerung. Insgesamt ist NSR S 204 B eine leistungsstarke und zuverlässige Oblatenschrittmaschine, die Präzisionssteindruckverfahrenbeschlüsse des Mikrons/Submikron, das automatisierte Oblatenberühren und intuitive Verbinden bereitstellt. Es ist ideal für Anwendungen von Mikroelektronik über Medizinprodukte, Optoelektronik und vieles mehr.
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