Gebraucht NIKON NSR S204B #9195176 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9195176
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
DUV Scanner, 8"
Handedness: Inline left or right
Altitude: Varies by site
Lens type: 4eN2
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.55-0.68
sPURE
Resolution enhancement technology (RET)
RET Apertures iNA= 0.51, 0.45, 0.41, 0.36, 0.27, and 1/3 annular
SHRINC Illuminator max σ; σ=0.85
Quick reticle change (QRC)
Reticle, 6"
Reticle loader
With reticle controller
Reticle barcode reader
Field image alignment system (FIA)
Laser step alignment system (LSA)
Phase contrast FIA
TTLFC2
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Type 3 ceramic wafer holder
Wafer loader
With type 3 wafer loader controller
Chip leveling included
Multipoint focus/level
Extended wafer carrier table
Pellicle particle detector (PPD3)
Online OCS
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS 6400 Series KrF excimer laser source
2001 vintage.
NIKON NSR S204B ist ein hochentwickelter und vielseitiger Photolithographie-Stepper zur Herstellung hochauflösender integrierter Schaltungschips. Dieser Stepper ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll abzubilden. Es verwendet ein hochpräzises Messsystem mit einem Vollfeldscan, um die Genauigkeit der Supramicron-Ausrichtung zu erreichen. Die Maschine verwendet doppelseitige Ausrichtsysteme, die die Dicke und Ausrichtgenauigkeit auch extrem dünner Wafer messen. Es verfügt über eine einzigartige zweiachsige Waferstufe, die es ermöglicht, beide Seiten des Wafers zu scannen und abzubilden, um sicherzustellen, dass belichtete Muster genau und ohne Verzerrung sind. Es verfügt auch über einen Hochleistungs-optischen Feldabflacher, der für reproduzierbare Bildqualität sorgt. Die Wafer werden mit einer Vielzahl von Mustertechniken verarbeitet, einschließlich Photolackbeschichtung und Belichtung. Das Beleuchtungssystem des Schrittschalters ist eine hocheffiziente Xenonlampe mit einem Belichtungsbereich von 1 Sekunde bis 1 Minute. Der Stepper kann eine optische Auflösung von 0,1 Mikrometern aufrechterhalten, was entscheidend ist, um hochgenaue und fein detaillierte Bilder in IC-Chips zu erzielen. Das automatische Fokuserkennungs- und Erfassungssystem der Maschine ermöglicht eine extrem genaue Fokussierung des Wafers. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Vielzahl von Programmier- und Wafer-Handhabungsoptionen wie Wafergrößenerkennung, Wafer und Retikel-Austausch sowie Sicherheitskontrollen, um einen sicheren und erfolgreichen Betrieb zu gewährleisten. Das Design umfasst auch eine umfassende Suite an Software- und Benutzerfunktionen, die es den Benutzern ermöglicht, die vollständige Kontrolle über die Maschine zu haben, sowie Zugriff auf anspruchsvolle und dynamische Daten und Funktionen. NIKON NSR-S204B bietet auch eine Reihe weiterer Vorteile, wie geringer Stromverbrauch, sehr kurze Rüstzeiten sowie eine großzügige lebenslange Garantie auf Teile. NIKON NSR S2004B wurde für den optimalen Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt und bietet Anwendern einen umfassenden, abwechslungsreichen und zuverlässigen Wafer-Stepper. Seine beeindruckenden technologischen Fähigkeiten und Funktionen, kombiniert mit seinem benutzerfreundlichen Design und der einfachen Wartung machen den NSR S2004B zu einer ausgezeichneten Wahl für eine breite Palette von Chip-Herstellungs- und Programmieranwendungen.
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