Gebraucht NIKON NSR S204B #9272079 zu verkaufen

NIKON NSR S204B
Hersteller
NIKON
Modell
NSR S204B
ID: 9272079
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
KrF Scanner, 8" Part M/C : PC Wafer loader (Loader slide) Wafer stage (Interferometer laser) Reticle stage (Interferometer laser) Reticle loader Reticle handler robot Boards (ALG board) PPD 2000 vintage.
NIKON NSR S204B ist ein Wafer-Stepper, der die Herstellung extrem kleiner und komplizierter Muster auf Halbleitersubstraten oder „Wafern“ ermöglicht. Es handelt sich um eine photolithographische Vorrichtung, d.h. es wird ein Lichtstrahl verwendet, um Muster auf den Wafer zu projizieren, die von einem Photolack, einem lichtempfindlichen Material, aufgezeichnet werden. Die Lichtquelle ist in der Regel eine Lampe auf Xenon- oder Mercury-Basis, obwohl moderne Versionen LEDs enthalten können. NIKON NSR-S204B ist in vielerlei Hinsicht automatisiert und wird von einer Reihe von Koaxialmotoren gesteuert, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Diese Motoren positionieren den Wafer und steuern die Ausrichtung von Schritt und Scan sowie die Belichtung. Zoom, Fokus und Ausrichtung sind auch für die spezifischen Bedürfnisse jedes Substrats einstellbar. Diese Präzisionsmotoren ermöglichen es NSR S 204 B, Muster mit Auflösungen von 0,29 µm für Maskenausrichter und bis zu 0,35 µm für Stepper zu erstellen. Die Wafer werden in die Belichtungskammer aus Quarz und epoxyverstärktem Kunststoff eingelegt, um sicherzustellen, dass keine Kontamination auf die Wafer übertragen wird. Das Licht wird durch eine Reihe von spaltförmigen Spiegeln geleitet, die mehrere Bilder auf den Wafer projizieren, um das Licht durch ein Zoomobjektiv genau zu fokussieren. Einmal an Ort und Stelle wird der Wafer dem Licht ausgesetzt und die Muster aufgezeichnet. Danach kann der Wafer entnommen und weiterentwickelt werden. NIKON NSR-S 204 B ist mit mehreren erweiterten Funktionen ausgestattet, die zusätzliche Flexibilität ermöglichen, einschließlich Enhanced Clustering Control, die zwei separate Bilder verwendet, um eine einzige Belichtung zu bilden. Es verfügt auch über eingebaute Scanner-Kalibrierung mit festen Maskenfunktionen, so dass der Wafer genau ausgerichtet und fokussiert werden kann, bevor er dem Licht ausgesetzt wird. Mit der Option Paketreduzierung (Package Reduction) wird die Belichtungszeit für die Serienproduktion reduziert, und eine vollständige automatische Reticle-Suche (Full Auto Reticle Search) stellt sicher, dass Muster präzise platziert werden. Darüber hinaus ist NSR-S204B mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Dies beinhaltet eine Kammertür, die automatisch schließt, wenn die Handhabung nicht erkannt wird, sowie eine Not-Aus-Taste und eine Belichtungssperre, um mögliche Schäden durch UV-Licht zu minimieren. Das Gerät ist auch mit einem Antivibrationssystem ausgestattet, um die Schwingung während der Belichtung zu dämpfen. Insgesamt ist NIKON NSR S 204 B ein leistungsfähiger und effizienter Wafer-Stepper, der die schnelle Herstellung komplizierter Muster auf Halbleiterscheiben ermöglicht. Seine robusten und einfach zu bedienenden Funktionen, kombiniert mit seinen Sicherheitsmerkmalen, machen das Gerät zu einer guten Wahl für mikrogefertigte Geräte.
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