Gebraucht NIKON NSR S205 #293660358 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR S205
ID: 293660358
KrF Scanner AIS Measurement repeatability: 3σ ≤ 60 nm Stepping precision: 3σ ≤ 25 nm Backlash: 3σ ≤ 25 nm Resolution: Conventional: 180 nm Annular: 2/3 Depth of focus: ≥ 400 nm / ΔCD 36 nm Focus deviation: ≤ 130 nm Dynamic distortion: ±15 nm LC Control Accuracy: Magnification: ±10 nm Alignment accuracy: FIA-EGA: |M|+3σ ≤ 35nm LSA-EGA: |M|+3σ ≤ 40nm.
NIKON NSR S205 ist ein Hochleistungs-High-Speed-Wafer-Stepper für die Halbleiter-Massenproduktion. Es verfügt über eine High-End-Scanausrüstung mit ausgezeichneter Bildqualität, präziser Musterplatzierung und kleinen kritischen Abmessungsfehlern (CD) für die Feinlinienverarbeitung. Mit seiner großen Tiefenschärfe, einer hohen numerischen Apertur (NA) von 0,75, einer großzügigen Scanfeldgröße und einer Feldtiefe, die 300-mm-Primärwafer ohne Scanbedarf aufnehmen kann, sorgt NSR S205 für hervorragende Wafer-zu-Wafer-Overlay und hervorragende Platzierungsgenauigkeit. Um maximale Betriebszeit und minimierte Wartung zu gewährleisten, ist NIKON NSR S205 mit fortschrittlichen Hardware- und Softwarekomponenten ausgestattet. Ein CAN-Bus-Netzwerk-Kommunikationssystem und eine integrierte Vision-Einheit geben eine schnelle, detaillierte Rückmeldung an den Benutzer. Seine ergonomische, einfach zu handhabende Wafer-Handhabungsmaschine, komplett mit Frontanschluss, verhindert Fehlplatzierung und sorgt für schnelles Umschalten. Das Wafer-Handhabungs- und Verschlusswerkzeug verfügt außerdem über eine integrierte Heizung, um die Wafertemperatur konstant zu halten. Für die fortschrittliche Verarbeitung verfügt NSR S205 über ein integriertes Laser Direct Imaging (LDI) Asset. Dieses Modell bietet stabile, sichere Aussetzungskoeffizienten und verwendet Lasereinmischungsfransenvorsprungstechnologie, um Muster auf Oblaten genau auszurichten. Darüber hinaus ermöglicht das digitale Nähen die Projektion hochkomplexer Muster. NIKON NSR S205 ist auch mit einem integrierten Strahlausrichtgerät ausgestattet, das stabile optische und elektrische Werte und eine einfache Einstellung bietet. NSR S205 stellt die neuesten Fortschritte in der Wafer-Stepper-Technologie dar. Sein schlankes Design ermöglicht es Anwendern, die Belastung durch Partikel und Kontaminationen zu reduzieren, während seine hohe Leistung ideal für die Massenproduktion ist. Darüber hinaus machen seine kompakte Größe und der angemessene Preis es zu einem wertvollen Werkzeug für eine Vielzahl von industriellen und akademischen Anwendungen.
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