Gebraucht NIKON NSR S205C #293619857 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR S205C
ID: 293619857
Weinlese: 2005
KrF Scanner 2005 vintage.
NIKON NSR S205C step and scan equipment ist ein hochpräzises, hochauflösendes Lithographiesystem, das für fortschrittliche Photolithographieverfahren in der Halbleiterproduktion entwickelt wurde. Diese Einheit ist in der Lage, Bilder und Muster höchster Qualität mit minimalen Bearbeitungszeiten zu erzeugen. Seine Strahlquelle ist eine hocheffiziente ArF (Gasentladungs-Excimer) Laserlichtquelle, die einen hochpräzisen Punktdurchmesser von 5 µm und eine maximale Lichtintensität von ca. 100 mW/cm2 im Scanfeld liefert. Die Maschine ist in zwei Konfigurationen erhältlich: nur Scan-und Stepper/Scanner. Der Nur-Scan-Modus ist für Belichtungen mit großen Bildmustern, die nicht wiederholt oder registriert werden müssen. Der Schritt-/Scanner-Modus verbindet das Werkzeug direkt mit einem Stepper und ermöglicht die Integration und Wiederholbarkeit großer Felder kritischer Funktionen mit großer Präzision. Das S205C ist mit drei unabhängigen Galvanometer-Scannern ausgestattet. Der Hauptscanner ist für das Scannen des gesamten Feldes verantwortlich, während die beiden Sub-Scanner verwendet werden, um eine hohe 2D-Zeilenbreitenauflösung von 0,7 Mikrometern zu erreichen. Der Hauptscanner verwendet einen einzigartigen Einzelpunktstrahl, um die Abtastzeit zu verringern und die Bildverzerrung zu reduzieren. Das Asset verfügt auch über ein fortschrittliches Bildverarbeitungsmodell einer fortschrittlichen CCD-Kamera in Kombination mit einer kontinuierlichen Palette von Objektiven. Auf diese Weise können Anwender die Scanauflösung für präzise Schaltungsmuster auf bis zu 0,4 Mikrometer erhöhen. Die Benutzeroberfläche der Geräte ist für einen effizienten Betrieb und eine leistungsstarke Steuerung des Setups ausgelegt. Das Bedienfeld und das 4,3 "farbige LCD-Display bieten die Kontrolle über alle Parameter, während die Alarmfunktionen eine einfache Verwaltung des Systems ermöglichen. Das Gerät bietet auch eine Reihe bequemer Netzwerkfunktionen wie einen Webbrowser, eine IP-Adresse oder eine Ethernet-Verbindung. Ein weiteres beliebtes Merkmal von NIKON NSR S 205 C ist seine eingebaute Auto-Alignment-Maschine, die den Prozess der Ausrichtung von Stepper und Scanner automatisiert. Dadurch wird eine minimale Musterfehlstellung gewährleistet, die zu Bildabbau und Ertragsverlust führen kann. NSR S205C ist ein hocheffizientes und präzises Lithographiewerkzeug, das den extremen Anforderungen der Produktionslinie Photolithographie gerecht wird. Es ist eine sichere und zuverlässige Wahl für die industrielle Halbleiterproduktion und eignet sich für die Herstellung einer breiten Palette von sehr fortschrittlichen optischen Schaltungen.
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