Gebraucht NIKON NSR S205C #293639083 zu verkaufen

NIKON NSR S205C ist ein Multi-Field-Imaging-Stepper, der in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. NIKON NSR S 205 C verfügt mit seiner 2,05-Mikron-Auflösung über eine hochpräzise Lithographie mit hohem Durchsatz. Der Wafer-Stepper ist mit einem Laser-Interferometer gebaut, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Belichtungsfeldausrichtung zu gewährleisten. Die Maschine wurde entwickelt, um eine ganze Reihe von Produktionsanforderungen zu unterstützen, von kleinen bis großen Wafergrößen von kleinen bis großen Geräten. Es unterstützt eine vollständige Palette von Maskengrößen von 4 bis 12 Zoll und kann Maskengrößen bis 200 mm aufnehmen. Der Stepper bietet eine breite Palette von Objektivoptionen, um verschiedene Belichtungsanforderungen zu erfüllen. Zu den verfügbaren Objektiven gehören hohe NA (Numerical Aperture) -Linsen wie 0.65NA und 0.60NA sowie hohe NA S-Objektive. Das Gerät verwendet einen Hochgeschwindigkeits-Scanmechanismus mit hoher Auflösung, um sicherzustellen, dass mehrere Belichtungsfelder genau und gleichzeitig registriert werden. NSR S205C verfügt auch über eine Reihe von integrierten Automatisierungsfunktionen, einschließlich Vision-gestützte Ausrichtung und Autofokus, die es seinen Benutzern ermöglichen, die Zeit zu reduzieren, die erforderlich ist, um jeden Job einzurichten. Darüber hinaus ist der Stepper mit einer Reihe von Besonderheiten ausgestattet, um Musterprüf- und Overlay-Analysefunktionen für bestimmte Gerätetypen zu ermöglichen. Zu diesen Funktionen gehören ein Autofokus und ein Messsystem für elektrische Gerätemuster, eine Musterdefektdetektion und verbesserte Musterformen für optische Geräte. Die Retikelstufe des Steppers bietet eine höhere Wiederholbarkeit als herkömmliche Systeme mit einer Drehgenauigkeit von 5 Bogensekunden. NSR S 205 C enthält eine Vielzahl von Prozesssteuerungsoptionen, wie eine Funktion mit mehreren Programmzyklen und die Möglichkeit, mehrere Masken und Rezepte zu speichern. Der Stepper ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von DPEC (Data Processing and Evaluation Control) Software, bietet automatische Wafer-Map, flexible Belichtungsparametereinstellungen und sequentielle Chucking-Steuerung. NIKON NSR S205C unterstützt auch eine Vielzahl von Inspektions-, Überwachungs- und Messsystemen. Insgesamt ist NIKON NSR S 205 C eine ideale Einheit für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über fortschrittliche Bildgebungs- und genaue Ausrichtungstechnologie, mehrere Objektive und Automatisierungsfunktionen sowie hochpräzise und wiederholbare Maschineneigenschaften. Die Eigenschaften des Steppers machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für eine Reihe von Anwendungsanforderungen.