Gebraucht NIKON NSR S205C #293817918 zu verkaufen
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ID: 293817918
KrF Scanner
Numerical Aperture (NA): 0.75
Resolution: 150 nm
DCO: 35
MMO: 40
Throughput (WPH): 84-140.
NIKON NSR S205C ist ein Wafer-Stepper, der zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist in der Lage, Merkmale von 250nm bis 20nm mit einem hervorragenden Maß an Präzision und Genauigkeit zu produzieren. Seine fortschrittliche Ausrichtung Ausrüstung gewährleistet hochpräzise Ergebnisse für wiederholbare und zuverlässige Geräteproduktion. NIKON NSR S 205 C verfügt zudem über größere Abtastwinkel, höhere Abtastraten und eine hohe NA-Optik für einen verbesserten Waferdurchsatz. Das Belichtungssystem von NSR S205C basiert auf einer Mehrzoneneinheit, die die Belichtungsgeschwindigkeit erhöht und ein zeilenweises Belichtungsmuster erzeugt. Es verfügt auch über Submikron maximale Bildverzerrung bietet ausgezeichnete Overlay-Genauigkeit. Um die Belichtungszeit zu reduzieren, beträgt die Belichtungszeit 0,9 Sekunden bei einer minimalen Schussvergrößerung 5 x. Die Maschine verwendet eine hochenergetische Deep UV (DUV) -Quelle, so dass die maximale Belichtungsdosis 5 mJ/cm2 beträgt. Die Ausrichtmaschine von NSR S 205 C verwendet NIKON bewährte Optik zusammen mit einer Flex-Strahl-Kombination, um einen hohen Standard an Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erreichen. Die maximale Genauigkeit bei Größenmessungen beträgt 0,3 μ m und die Ausrichtgenauigkeit 0,1 μ m. Es verfügt auch über eine integrierte Ausrichtungssoftware, die eine hohe Genauigkeit und Kontrolle bei der Herstellung von Chips ermöglicht. NIKON NSR S205C ist modular aufgebaut und leicht aufrüstbar. Komponenten lassen sich austauschen, um wechselnde Geräteanforderungen zu erfüllen, und die Geräte können auf einer Standard-Wafer-Prozessplattform integriert werden. Diese Maschine ist auch mit einem superleisen Kühlwerkzeug ausgestattet, das Vibrationen reduziert und den Durchsatz verbessert. Diese Kühlung zusammen mit den anderen Funktionen kombiniert liefern ausgezeichnete Ergebnisse, die es zu einer beliebten Wahl in der Halbleiterindustrie gemacht hat. NIKON NSR S 205 C ist ein beeindruckender Wafer Stepper, der hohe Präzision und Genauigkeit auf Geräten produzieren kann. Es hat ein intuitives Ausrichtungsmodell und einen modularen Aufbau, der es für die Produktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente großartig macht. Es ist zuverlässig und effizient mit ausgezeichnetem Durchsatz und bietet eine ideale Ergänzung zu jeder Wafer-Produktionslinie.
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