Gebraucht NIKON NSR S206 #9196486 zu verkaufen

NIKON NSR S206
Hersteller
NIKON
Modell
NSR S206
ID: 9196486
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Scanner, 12" Currently de-installed 2004 vintage.
NIKON NSR S206 ist ein Wafer-Stepper, der Teil der kostengünstigen NSR-Stepper-Serie des Unternehmens ist. Es ist für eine effiziente und präzise Verarbeitung von Halbleiterscheiben in Serienfertigungsprozessen ausgelegt. NSR- S206 ist in der Lage, mit seinen optischen Komponenten sowie Schicht-zu-Schicht-Overlay erweiterte Musterung, so dass es ideal für mittlere und kleine Funktionen mit Linienbreitensteuerung bis zu 0,2-Mikron. Dieser Schrittmacher verwendet einen CCD-Mustergenerator zur Erzeugung von Bilddaten aus den CAD-Zeichnungseingangsdaten zur Verwendung im Photomasken-Erzeugungsprozess. Es integriert auch eine leistungsstarke CASSSPEC-Scanausrüstung zur schnellen Musterübertragung und Optimierung von Belichtungsparametern mit einfachen voreingestellten Einstellungen. Mit seinem aktuellen Dosiskontrollalgorithmus (DCA) und Active Pixel Count (APC) bietet NIKON NSR S206 die beste Gleichmäßigkeit in der Expositionsdosis über den Wafer, was zu einer gleichmäßigen Strukturierung über die gesamte Waferoberfläche führt. NSR- S206 ist hochautomatisiert und wurde entwickelt, um menschliche Eingriffe zu reduzieren, wodurch eine sehr gleichmäßige, fehlerfreie Musterung mit wartungsarmer hochgenauer zweistufiger Substratpositionierung, WaferChuck und Vakuumsystem entsteht. Die einzigartige Architektur der Belichtungseinheit unterstützt mehrere Belichtungsfelder ohne zusätzliche Zeit oder Kosten, was bedeutet, dass sie während der Verarbeitung schnell zwischen Feldern wechseln kann. Ausgestattet mit einer CleanTrack Wafer-Reinigungsmaschine zur Entfernung von organischen und Metallverunreinigungen aus dem Wafer bietet NIKON NSR S206 eine hohe Produktivität und Gesamteffizienz ohne Qualitätseinbußen. Es funktioniert auch mit einer ganzen Reihe von fortschrittlichen lithographischen Materialien, einschließlich hochauflösender Widerstände, sowohl positiv als auch negativ, und Super-Auflösung widersteht. Mit seinen fortschrittlichen Photomasken, die Verbesserungen, Vorausrichtungssysteme für Maske und Wafer und ultrahochauflösende Bildgebungstechnologien machen, ist NSR S206 ideal für fortschrittliche Halbleitertechnik und Fertigungsanforderungen. Es ist ein hocheffizienter und präziser Wafer-Stepper, der einen höheren Durchsatz und eine höhere Qualität zu einem kostengünstigen Preis bietet.
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