Gebraucht NIKON NSR S207D #293587213 zu verkaufen

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Hersteller
NIKON
Modell
NSR S207D
ID: 293587213
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
KrF Scanner, 12" CIM: SECs FOUP External system Factory interface: SMIF Fan Filter Unit (FFU) Temperature controller Excimer laser Amp Rack 2004 vintage.
NIKON NSR S207D ist ein hochmoderner hochpräziser Wafer-Stepper, der den anspruchsvollen Anforderungen der ultrakleinen Strukturierung von Merkmalen in der modernen Halbleiterherstellung gerecht wird. Mit einer maximalen Auflösung von 0,3 Mikrometern, einer Mindestschrittzeit von 1 ms und einer All-in-One-Belichtungsfeldgröße ist das S207D das perfekte Werkzeug für Anwendungen mit feiner Steigung und hoher Dichte. Angetrieben durch ein innovatives Dualstufen-Quellobjektivsystem bietet das S207D außergewöhnliche Belichtungsgleichmäßigkeit und hohe Durchsatzleistung für eine Reihe von Wafergrößen. Die motorisierte Belichtungsstrecke und die Objektivlinsenverschiebung sorgen für eine konstante Luftbildintensität, während die ultrakurze Wellenlänge, das Kurzpuls-SCRF-Belichtungssystem hilft, den höchsten Einzelbelichtungsdurchsatz zu erreichen, der in der Industrie verfügbar ist. Das S207D ist mit einer breiten Palette von Belichtungstechnologien ausgestattet, um alle Arten von Lithographie-Anforderungen zu erfüllen. Dazu gehören die Belichtungstechnologie MAPSYN, LEAP, SEM-LIG und Flip sowie dedizierte Wafer- und Maskenausrichter, um maximale Genauigkeit und schnelle Prozesse zu gewährleisten. Die S207D unterstützt auch eine Reihe von Belichtungsprofilen, um sicherzustellen, dass jeder Prozess für bestimmte Gerätetypen optimiert ist und somit perfekt für eine Vielzahl von Prozessen geeignet ist. Neben seiner beeindruckenden Belichtungsleistung verfügt der S207D auch über eine Reihe von Funktionen, die seinen Betrieb optimieren sollen. Diese umfassen eine voll modulare und wartungsfähige Konstruktion, so dass sie schnell installiert und an verschiedenen Standorten gewartet werden kann. Das S207D verfügt auch über ein fortschrittliches Automatisierungspaket, das eine vollautomatische Waferbearbeitung einschließlich Wafer-Mount/Demontage, Belichtung und Waferbearbeitung ermöglicht. NIKON NSR-S207D ist die ideale Lösung für jede fortschrittliche Halbleiterherstellung. Mit seiner hervorragenden Leistung, dem kompletten Automatisierungspaket und dem außergewöhnlichen Durchsatz ist es das perfekte Werkzeug, um die effiziente und kostengünstige Produktion ultrakleiner Funktionsmuster zu gewährleisten.
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