Gebraucht NIKON NSR S207D #293817914 zu verkaufen

NIKON NSR S207D Wafer Stepper ist eine Hochleistungs-Lithographie-Maschine zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist für hochscharfe Strukturierung mit einer Auflösung von 0,22 μ m ausgelegt. Die Schrittfähigkeit beinhaltet auch eine präzise Tiefenkontrolle beim Wafer-Mustern. NIKON NSR-S207D ist für die höchste Auflösung der optischen Technologie konzipiert, die zum Zeitpunkt der Veröffentlichung in der Branche erhältlich ist. Als hocheffizientes Bildgebungssystem wird ein modernes CCD-Bildgebungsgerät verwendet, das oft als „Offset Chopper“ bezeichnet wird. Diese Einheit enthält zwei separate CCDs für die Belichtung eines einzelnen Wafers. Dies sorgt für die geforderte Genauigkeit der Registrierung zwischen mehreren Feldern und damit für hohe Qualität bei der Wafer-Strukturierung. Der Stepper ist mit sechs Achsen zur präzisen Ausrichtung und Positionierung von Wafer und Retikel ausgebildet. Die Positionierung und Platzierung innerhalb der Bearbeitungskammer wird durch eine fortschrittliche und hochgenaue Positioniermaschine gesteuert. Das integrierte automatische Kalibrierwerkzeug sorgt für optimale Platzierungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit der Wafer. Darüber hinaus ist ein besonderes Merkmal von NSR S207D ein Präzisions-Z-Achsen-Asset, das eine präzise Steuerung der Wafertiefe während des Belichtungsprozesses ermöglicht. Dieses Modell ist besonders nützlich für die Verarbeitung von dicken Substraten, die mehrere Fokusebenen erfordern. NSR-S207D ist auch mit einem automatisierten Austauschgerät konzipiert, das den Austausch von Schrittkomponenten, wie Linsen und Retikeln, ohne manuelle Eingriffe ermöglicht. Dadurch werden die potenziellen Fehlerquellen und Fehlstellungen durch manuellen Austausch eliminiert. Der Stepper verfügt über mehrere Automatisierungsoptionen, die einen höheren Durchsatz, Komfort und eine verbesserte Ergonomie bieten. Die mehrfachen Animationsoptionen des Steppers machen das Einrichten, Laden und Entladen der Wafer sehr schnell und bequem. Das fortschrittliche Retikelausrichtsystem ist ein weiteres wichtiges Merkmal, das eine präzise Ausrichtung der Retikel auf den Wafer zur präzisen Erfassung während der Exposition ermöglicht. NIKON NSR S207D ist auf hohe Zuverlässigkeit bei minimalem Wartungsbedarf ausgelegt. Die aktive Temperaturregelung des Schrittschalters sorgt dafür, dass die Komponenten der Maschine während des gesamten Prozesses im vorgeschriebenen Temperaturbereich bleiben. Schließlich verfügt NIKON NSR-S207D über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die komplexe Prozesseinrichtungs- und Wartungsaufgaben vereinfacht.