Gebraucht NIKON NSR S207D #9391602 zu verkaufen

NIKON NSR S207D
Hersteller
NIKON
Modell
NSR S207D
ID: 9391602
KrF Scanners.
NIKON NSR S207D Wafer Stepper ist ein Werkzeug für hochpräzise Lithographie bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet. Es ist ideal für die Herstellung von Geräten Gießereien, Forschung und Entwicklung Labors, und Bildungseinrichtungen. Die Ausrüstung ist auf Kosten, Genauigkeit und Durchsatz optimiert. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten, einer fortgeschrittenen optischen Projektionseinheit und einer motorisierten x/y-Stufe für die Substratbewegung. Es enthält auch einen Autoloader zum schnellen Austausch von Substraten. Die optische Projektionsmaschine besteht aus einem optischen Präzisionslinsenwerkzeug und einem Schrittmotor zur elektrooptischen Modulation. Die Optik besteht aus bis zu 20 Spiegeln und Linsen, darunter konvexe, konkave und achromatische Optik, die zusammen montiert und mit dem Asset geliefert werden. Die Optik zeichnet sich durch geringe Aberration, hohe optische Auflösung und gute Bildqualität aus. Der fortschrittliche Schrittmotor ermöglicht eine hochgenaue Stufenpositionskontrolle und Linsendrehung. Die motorisierte x/y-Stufe ist auf Genauigkeit und Geschwindigkeit ausgelegt. Es wird von einem digital gesteuerten Schrittmotor angetrieben und verfügt über eine fortschrittliche Bewegungssteuerung. Die Stufe hat eine Reichweite von 400 mm x 400 mm und kann bis zu 500 mm/s schnelle Bewegung liefern, die auf die Genauigkeit von 0,7 μ m gesteuert wird. Die Bühne umfasst auch Sturzprävention und Absturzschutz. Der Autoloader ermöglicht den Schutz von Retikel und Glasplatte sowie den schnellen Austausch von Substraten für den automatisierten Betrieb. Abschließend ist NIKON NSR-S207D Wafer Stepper ein ideales Lithographiewerkzeug für die Geräteherstellung mit hoher Genauigkeit und Durchsatz. Es verfügt über ein präzises optisches Projektionsmodell, eine motorisierte x/y-Bühne und einen Autoloader für schnellen Substrataustausch. Die Ausrüstung ist auf Kosteneffizienz und genaue Herstellung vieler Arten von Halbleiterbauelementen ausgelegt.
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