Gebraucht NIKON NSR S208D #293817692 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR S208D
ID: 293817692
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Krypton Fluoride (KrF) scanner, 12" Standard Mechanical Interface (SMIF) CIM: SECs 2006 vintage.
NIKON NSR S208D Wafer Stepper ist eine hochqualitative Lithographie-Ausrüstung für moderne Fertigungsanwendungen. Es verfügt über ein modernes optisches System, das eine Belichtungsbreite von 0,08 μ m bis 20 μ m ermöglicht. Das S208D verfügt zudem über die NIKON Exclusive Pulse Power Supply (PPS) -Technologie, die eine optimale Belichtungsenergiesteuerung gewährleistet und die Prozessvarianz über Wafer reduziert. Es verfügt über einen aggressiven Belichtungsausrichtungsbereich von +/- 0,2 μ m, um einen maximalen Durchsatz zu gewährleisten und die Ausrichtungszeit der Lösung zu reduzieren. Weitere Merkmale von NSR- S208D sind ein Sichtfeld von 204 mm, eine maximale Tischgröße bis 460mm und bis zu 45 Würfel pro Matrize. Darüber hinaus verfügt das S208D über eine neu konzipierte Diffraction-Limited Coating Unit (DLC), die extrem gleichmäßige Beschichtungsmuster auf dem Wafer mit hoher Wiederholbarkeit liefert. Diese DLC-Maschine ist anpassbar, um spezifische Prozessanforderungen zu erfüllen, wie z. B. die Expositionszeit zu reduzieren, Wafer-Verzug zu verhindern und die Partikelsteuerung zu verbessern. Das S208D verfügt auch über innovative Inspektionsmöglichkeiten, einschließlich der neuen One Shot Ready Inspection (OSRI) -Funktion. Dies ermöglicht die Echtzeitinspektion und den Vergleich von Belichtungsdaten für eine verbesserte Genauigkeit. Das Werkzeug kann Belichtungsfehler erkennen und korrigieren, bevor der Prozess abgeschlossen ist, so dass es ideal für höhere Genauigkeitsanforderungen ist. Darüber hinaus unterstützt das S208D die Photoshop® -Integration, so dass Benutzer eigene Designs erstellen oder importieren können. Während seiner gesamten Konstruktion betont die S208D sowohl den Durchsatz als auch die Genauigkeit. Neben der hochpräzisen Optik und der effizienten Asset-Architektur sorgt die robuste Temperature Control Unit (TCU) für eine äußerst genaue Temperaturregelung. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Belichtungswiederholbarkeit und minimiert die thermische Drift, was bei Nacharbeitsprojekten besonders wichtig ist. Das S208D verfügt außerdem über eine Echtzeit-Programm-/Datenaktualisierung, die eine einfache Wartung und vorbeugende Wartung ermöglicht. NIKON NSR S208D Wafer Stepper ist eine zuverlässige und leistungsstarke Lösung für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Seine Eigenschaften maximieren den Durchsatz und die Genauigkeit, während seine erweiterten Inspektionsmöglichkeiten die Qualitätskontrolle gewährleisten.
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