Gebraucht NIKON NSR S306 #120927 zu verkaufen

NIKON NSR S306 ist eine Photolithographie-Ausrüstung, die zur Herstellung von integrierten Schaltungsmasken (IC) und kleinen gestuften Funktionen verwendet wird. Das System ist speziell für hochauflösende, Submikron-Ausrichtung, Registrierung und Overlay-Funktionen konzipiert. NSR S306 wurde entwickelt, um Anwendungen wie Bare-Wafer, Film-on-Wafer, Mikrogerät und erweiterte IC-Verpackungsverzerrungskorrektur zu behandeln. Das Gerät verwendet eine robuste NIKON 5X Vergrößerungs- und hochauflösende Schrittscanner-Maschine, die sich ideal für die Erstellung von Geräten mit geringer Linienbreite eignet. Das Tool unterstützt auch Deep Ultraviolet (DUV) und Xeon Beleuchtung. NIKON NSR S306 bietet eine vollständige Palette von Anwendungen und Hochleistungsbetrieb, einschließlich 12 Zoll Feldgröße, 1,06 nm Auflösung, Ausrichtgenauigkeit von 1/50 Mikron und einem maximalen Durchsatz von 210 Wafern/Stunde. Für Film-auf-Wafer-Anwendungen kann das Asset verschiedene Arten von Folien verarbeiten, die bis zu 0,25 μ m dick sind, und Linienbreiten von weniger als 0,3 µm freilegen und verarbeiten. Zusätzlich sind Beschleunigung und Verzögerung des Modells einstellbar, so dass die Ausrüstung mit geringer Schrittweite und ultrahoher Geschwindigkeit verarbeitet werden kann. NSR- S306 verfügt auch über eine Off-Axis-Beleuchtung, die es ermöglicht, extrem große Funktionen zu verarbeiten. Das System verfügt auch über eine High-Speed-CoaXPress-Kamera für feine, komplexe Ausrichtungs- und Registrierungsanwendungen. NIKON NSR S306 verfügt auch über eine vollautomatische, präzise Wafer-Handhabung, von der Kassettenerleichterung bis zum Pick-and-Place-Betrieb. Wafer-Verzug und Bodenkorrektur, plus Wafer-ID, metrische Daten und Stufenkalibrierung können für jeden Wafer einzeln oder für eine Charge von Wafern durchgeführt werden. NSR S306 ist mit fortschrittlicher Bildverarbeitungs- und Analysesoftware ausgestattet, die Verarbeitungsergebnisse offline genau beurteilen kann. Diese Software erkennt automatisch den marginalen oder beschädigten Wafer und den fehlerhaften Bereich auf dem Wafer, sodass der Benutzer Fehler schnell und genau erkennen kann. Weitere Merkmale des Geräts sind automatische Retikle-Offsetierung, erweiterte Optik und elektronische Kühlung. NIKON NSR S306 ist eine ideale Wahl für fortschrittliche IC-Produktionsanforderungen und bietet überlegene Genauigkeit, Anzeige und Automatisierung. Es bietet extreme Flexibilität in Bezug auf unterschiedliche Anwendungen und Verarbeitungsgeschwindigkeiten und eignet sich für viele Anwendungen wie fortschrittliche IC-Verpackungsverzerrungskorrektur, außergewöhnliche Linienbreitenkontrolle und extreme Flexibilität in Bezug auf Beleuchtung, Ausrichtung, Registrierung und Wafer-Handling.