Gebraucht NIKON NSR S306 #293814744 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR S306
ID: 293814744
ArF Scanner.
NIKON NSR S306 ist ein Präzisions-6-Achsen-Wafer-Stepper für die hochpräzise Lithographie von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über erweiterte Funktionen wie einen räumlichen Filter, Präzisionsausrichtungsfunktionen und eine große polierte Bühne für glatte und wiederholbare Bewegungen. Integriert in einen kleinen, kompakten Formfaktor bietet NSR S306 das höchste Maß an Genauigkeit und Zuverlässigkeit, das für die Produktion und Forschungs-Wafer-Verarbeitung benötigt wird. NIKON NSR S306 bietet eine extrem hohe Auflösung und Wiederholbarkeit (0,3 nm in XY) über eine Vielzahl von Bilderfassungsfeldern. Es verfügt außerdem über eine lange Lebensdauer und niedrige Betriebskosten, wodurch die Wartungskosten über den Lebenszyklus der Geräte gesenkt werden. NSR S306 verfügt auch über fortschrittliche technologische Fähigkeiten wie ein hochauflösendes polarisierendes Bildgebungssystem, das es in der Lage macht, fortschrittliche Bildgebungstechniken wie Polarisations-, Farb- und Frontalbeleuchtungsscans mit einem niedrigen Rauschen-zu-Signal-Verhältnis durchzuführen. NIKON NSR S306 nutzt eine fortschrittliche 6-Achsen-Bühne mit einer einzigartigen Epoxid-Nivelliereinheit, die eine laterale Bewegungssteuerung und eine reduzierte Partikelbewegungsdrift bietet. Die Stufe verfügt über hochauflösende lineare Encoder, die eine genaue Kontrolle und Scangeschwindigkeit gewährleisten und wiederholbare und hochpräzise Bildgebungsfunktionen bieten. Die Bühne umfasst auch eine breite Palette von Belichtungseinstellungen mit variabler Belichtungsgeschwindigkeit, Scangröße und Fokusebene. Weitere erweiterte Funktionen von NSR- S306 umfassen seine fortschrittliche Bildverarbeitungsmaschine, die ausgezeichnete Bildgleichmäßigkeit und Einrichtungszeit, hohen Bildkontrast und -auflösung sowie eine breite Palette von Belichtungseinstellungen für Präzisionslithographie bietet. Es verfügt auch über einen integrierten Raumfilter für kontrastreiche Bildgebung, und sein erweitertes Ausrichtungstool sorgt für genaue und wiederholbare Bildpositionierung und Parametereinstellungen. NIKON NSR S306 kommt mit einem hochpräzisen mechanischen Design und einem internen Alignment Asset, das Leistung und Zuverlässigkeit optimiert. Es verfügt auch über ein Vakuumfutter-Modell mit eingebauten Heizungen und eine Open-Air-Kühleinheit, die Waferoxidation während der Exposition verhindern. Darüber hinaus verfügt NSR S306 über eine große polierte Stufe, die Partikelbewegungen reduziert und reibungslose und wiederholbare Bewegungen ermöglicht. NIKON NSR S306 ist eine zuverlässige, leistungsstarke und kostengünstige Ausrüstung, die höchste Genauigkeit und Präzision für die Präzisionslithographie bietet. Es bietet schnelle Rüstzeiten, erweiterte Bildverarbeitungsfunktionen, hochauflösende lineare Encoder und mehrere Belichtungseinstellungen, was es zu einer idealen Wahl für Anwendungen in der Forschungs- und Produktionswaferbearbeitung macht.
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