Gebraucht NIKON NSR S306 #9114893 zu verkaufen

NIKON NSR S306 wafer stepper ist eine Präzisionsanlage, die in der Halbleiterindustrie für die lithographische Verarbeitung eingesetzt wird. Es ist entworfen, um Muster mit Nanometer-Ebene Präzision auf 150mm bis 300mm Wafer auszurichten. NSR S306 umfasst eine Projektionsoptik-Bühne, hochpräzise Bühne, Schlitzabtasttechnologie und eine räumliche Lichtmodulator (SLM) digitale Maske. Es hat eine branchenführende Auflösung von 26nm halber Tonhöhe. Die Projektionsoptik-Bühne umfasst eine asphärische Glasobjektivlinse und ein fortschrittliches Weitwinkeloptiksystem. Die fortschrittliche Optikeinheit sorgt dafür, dass Licht korrekt projiziert und frei von optischen Aberrationen ist. Die Projektionsoptik-Bühne verfügt außerdem über einen Autofokus-Mechanismus zur schnellen Ausrichtung. Die hochpräzise Stufe ermöglicht Präzision auf Nanometerniveau. Dies geschieht durch eine geschlossene Bewegungssteuermaschine und eine hitzebeständige Abtaststufe. Diese Stufe umfasst auch einen Wafer-Handhabungsmechanismus, der es ermöglicht, Wafer jeder Größe und Dicke mit Leichtigkeit zu beladen. Die Schlitzabtasttechnologie bietet eine reproduzierbare und präzise Formgebung des Anzeigemusters und kann bei Photogravur-Wiederholzyklen von bis zu 600kHz scannen. Es wird auch für niedrig dosierte Spaltbildgebung verwendet, die hilft, Bildartefakte zu minimieren, um ein klares Bild zu liefern. Mit der SLM-Digitalmaske wird das auf den Wafer projizierte Beleuchtungsmuster erzeugt. Diese Maske besteht aus einem speziellen Material, das das Licht beugt und die gewünschten Muster bildet. NIKON NSRS 306 Wafer Stepper ist ein zuverlässiges Präzisionswerkzeug, das einfach zu bedienen und hochgenau ist. Es bietet eine hervorragende Leistung und eignet sich perfekt für die Produktion von Lithographie in hohen Stückzahlen. Die Anlage ist sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für Massenproduktionsanwendungen konzipiert.