Gebraucht NIKON NSR S306C #293822797 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
NIKON NSR S306C ist ein Wafer-Stepper, ein Maschinentyp zur Herstellung integrierter Schaltungen auf Halbleiterscheiben. Diese Maschine ist für ihre Vielseitigkeit besonders vorteilhaft. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300mm verarbeiten und ist in der Lage, ultradünne Resiststoffe und nicht standardmäßige Substrate zu handhaben. NIKON NSR-S306C bietet unter 30nm Auflösung sowie anspruchsvolle Ausrichtungs- und Messtechnikfunktionen. Es verfügt über eine Stufe 1 Verschiebung Steuerung Ausrüstung, die Sub-Nanometer Genauigkeit mit Profilierung und Protokollierung Funktionen hält Ergebnisse im Detail zu verfolgen. Dank der integrierten Scanfähigkeit können Anwender Belichtung simulieren und Parameter für komplexe Prozesse speichern, die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern. NSR S306C eignet sich hervorragend für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Es verfügt über ein automatisiertes FALCON (Flexible Auto Loader for Contamination-free Operation & Notification) System zum Ein- und Ausladen von Wafern. Dies dient der Vermeidung von Kontaktverunreinigungen sowie der Benachrichtigung der Nutzer über mögliche Probleme. Das fortschrittliche Interferometer oder die I-Linie der Maschine misst die Position des Fokus, ermöglicht die Ausrichtung von Objekten und verhindert eine falsche Ausrichtung des Fokus. Für zusätzliche Genauigkeit verfügt die Maschine über eine ResCon-Funktion, die die Auswirkungen von thermischer Drift und Vibration minimiert. Für störungsfreien Betrieb verfügt der Stepper über eine PUMA-Einheit. Diese Advanced Process Control Machine kann 240 Schritte pro Stunde durchführen und bietet eine automatische Voroptimierung und Optimierung. Es überprüft auch die Ausrichtung jeder Exposition mit Konsistenz und Genauigkeit und verbessert die Prozessleistung weiter. NSR-S306C verfügt über ein leistungsfähiges Paar U2E FPD-Verarbeitungswerkzeuge. Sie ermöglichen einen höheren Durchsatz mit mindestens der doppelten Auflösung aufgrund ihrer Fähigkeit, Objekte bis zu 11 µm abzubilden. Zusammenfassend ist NIKON NSR S306C Wafer Stepper eine effiziente und vielseitige Maschine zur Verarbeitung integrierter Schaltungen auf Wafern bis 300mm Durchmesser. Es hat Sub-30nm Auflösung, hohe Genauigkeit, Verunreinigung verhindert FALCON Werkzeug, erweiterte Interferometer und intelligente PUMA-Asset. Darüber hinaus kann diese Maschine mit hocheffizienten U2E FPD-Prozesswerkzeugen für höhere Durchsätze eingesetzt werden.
Es liegen noch keine Bewertungen vor