Gebraucht NIKON NSR S307E #293817908 zu verkaufen

NIKON NSR S307E
Hersteller
NIKON
Modell
NSR S307E
ID: 293817908
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.85 Resolution: 80 nm DCO: 15 Throughput (WPH): 112-160.
NIKON NSR S307E Wafer Stepper ist ein optischer Vollfeld-Wafer-Stepper, der eine fortschrittliche Bildgebungsleistung und einen außergewöhnlichen Durchsatz bietet. Es wurde entwickelt, um den Anforderungen der anspruchsvollsten Produktionsumgebungen gerecht zu werden. NSR S307E verfügt über eine neue 5-Achsen-unabhängige Scan-Ausrüstung und ein 5,5 μ m telezentrisches Stufenzonen-Plattensystem, das eine extrem hohe Auflösung der Musterbildgebung ermöglicht. Das S307E verfügt auch über einen großen Messbereich von 5-200mm mit einer Schrittweite von 1-5 μ m und bietet eine genaue Positionierung und einen hohen Durchsatz. NIKON NSR S307E verfügt zudem über eine fortschrittliche LED-Lichtquelle sowie eine Focus/Glare/Slit-Bildsteuerung, die eine verbesserte Bildqualität und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das S307E eine Filmbildgebungsmaschine, die eine gleichzeitige Folie, Wafer, Ausrichtung und Inspektion während eines einzigen Scans ermöglicht. Dieses Werkzeug behält die Rahmenstabilität bei und beseitigt Ausrichtungsfehler und Inspektionszeiten. NSR- S307E verfügt auch über eine automatische Kalibrierung Asset, die Kalibrierungszeit eliminiert, und einen schnellen Scanner, ermöglicht die Strukturierung von mehreren Substraten auf einmal. Diese hochautomatisierte Maschine ermöglicht eine Hochgeschwindigkeits-Bildgebung mit vollständigen Wafer-Scanzeiten bis zu 10 Minuten. Darüber hinaus verfügt das S307E über ein leistungsstarkes bildgebendes Softwarepaket, das Werkzeuge für die Erstellung von CAM-Daten und maskenlose Lithographie bereitstellt. Insgesamt ist NIKON NSR S307E ein leistungsstarkes Bearbeitungs- und Bildgebungswerkzeug für die anspruchsvollsten Produktionsaufgaben. Mit fortschrittlicher Bildgebungsleistung, einer leistungsstarken Software-Suite und hohem Durchsatz gehört das S307E zu den fortschrittlichsten Wafer-Steppern, die für die Produktion zur Verfügung stehen. Das S307E bietet eine perfekte Kombination aus Geschwindigkeit, Präzision und Genauigkeit und bietet eine komplette bildgebende Lösung.
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