Gebraucht NIKON NSR S307E #9386223 zu verkaufen
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ID: 9386223
Active temperature control unit
P/N: 4S587-598
Power: 200/208 V, 50/60 Hz, 23 A, 16.3 A, 3 Phase, 3 Wires + Ground line.
NIKON NSR S307E ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der für fortschrittliche Lithographieverfahren entwickelt wurde. Es bietet Flexibilität und Skalierbarkeit mit fortschrittlichen Funktionen und Technologien, um Lithographie-Prozesse und Leistung zu verbessern. Es bietet ultrapräzise Auflösungen, hohen Durchsatz und niedrige Betriebskosten. NSR S307E ist ideal für Produktionsprozesse, die eine extrem feine Strukturierung mit kleinen Formstückgrößen und engen Toleranzen erfordern. Es kann eine breite Palette von Substraten handhaben, von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 1,6 mm bis zu 300 mm. Der Stepper ist in der Lage, eine Feldgröße von bis zu 200 mm mal 200 mm, mit einer minimalen Steigungen so fein wie 0,075 µm und eine minimale Merkmalsgröße von 0,2 µm. Es hat eine Auflösung zwischen 0,3 nm und 0,5 nm. NIKON NSR S307E bietet auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen und Technologien. Es verfügt über ein on-tool optisches Kalibriersystem, das eine genaue Bildgebung und Ausrichtung gewährleistet, und eine große Auswahl an Belichtungsquellen, wie He-Cd, KrF und I-line. Der Stepper umfasst außerdem eine vollautomatische Fokus- und Ausrichtungssequenz sowie ein laserinterferometrisches Ausrichtungssystem. NSR S307E wurde auch für eine Vielzahl von Photomasken entwickelt, von Standard- und doppelseitigen Masken bis hin zu reflexionsstarken und gemusterten Masken. Es bietet auch erweiterte Funktionen wie Ausrichtungsselektivität, mehrere Musterüberlagerungen und optionale Quarzmaskenfähigkeit. Darüber hinaus ist der Stepper auch in der Lage, mehrschichtige Prozesse mit optischer Gleichmäßigkeit und Fehlerinspektion zu ermöglichen, um gleichbleibend hohe Produktionsausbeuten zu gewährleisten. NIKON NSR S307E bietet auch eine Vielzahl von Optionen und Zubehör, um seine Funktionen und Fähigkeiten weiter zu verbessern. Es enthält Optionen für das Ätzen mit hohem Seitenverhältnis, die In-situ-Dickenmessung und eine erweiterte Fokustiefe. Es kann auch mit verschiedenen Arten von Manipulatoren verwendet werden, wie rotierende, motorisierte und koordinierte Stufen. Insgesamt ist NSR S307E ein fortschrittlicher, aber einfach zu bedienender Wafer-Stepper, der eine hervorragende Lithographieleistung bietet, die für fortgeschrittene Geräteanwendungen erforderlich ist. Es bietet leistungsstarke Bildverarbeitungsfunktionen, flexible Funktionsgröße und -auflösung sowie präzise Ausrichtungsfunktionen. Mit seinem Leistungsspektrum und Zubehör bietet es eine ideale Lösung für jeden Chip-Produktionsprozess.
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